PC210 压力控制器

PC210 压力控制器是数字型压力控制产品，为气体压力的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。模拟型产品可同时支持数字信号和模拟信号，可使用双电源±15VDC 供电。

优势

控压精准度高

配置的压力传感分辨率高，可以检测出较高的压力精度。

响应时间快

压力阶跃时，可以快速实现压力的稳定，时间在1S左右。

定制化解决方案

支持定制不同机械接口和不同的控压范围，以及上下游控制模式。

创新点

支持双电源宽范围供电

使用±15VDC供电，双电源宽范围供电，电流小，功耗低。

模拟电压四种组合形式

模拟电压输入和输出有四种组合形式，可供选择。

上下游控压

上下游均可以实现控压，通过转换通道的流向，软件改变上下游控制参数，即可切换控压模式。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-显示

生命科学-分析仪器

科学研究-实验器材

技术指标

型号 PC210
压力类型 绝压
控制压力的满量程 绝压: 100Torr、200Torr、1000Torr; 300Kpa
耐压 3MPa
阀口满量程流量 200SCCM; 1、2、4、5、10、20SLM
控制方式 上游、下游
温度系数 Zero: ±0.04% of F.s./℃；Span: ±0.04% of Reading/℃
压力分辨率 0.1 Torr
压力控制精度 ±0.5% of Reading
工作温度范围 10℃~50℃
机械接口 VCR 1/4"阳接头、VCR1/2"阳接头
阀类型 常闭
外漏 <1x10-9(scc/sec He)
内漏 <1.0% of 阀口满量程流量或者1sccm( 1个大气压N2 ) 中较大值
供电电源 ±15VDC
电气接口 DB-15 针

注意：

气体压力控制器出厂通常用氮气(N2)标定

气体压力的单位规定为：Torr(托)；mbar(毫巴); KPa (千帕) 

标准状态规定为：温度--273.15K（0℃ )；气压--101325 Pa（760mm Hg）

在华丞电子 PC 产品中，单位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，单位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同

F.S.(Full Scale)：满量程值； S.P.(Set Point)：设定点值

PC210气体压力控制器 中文使用手册V1.0

2024-11-28

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