PC300 压力控制器

PC300 压力控制器是带有完整流量计功能的压力控制器，主要应用于半导体领域，例如在晶圆背面冷却系统中，用来控制硅片背面的冷却气体的压力，如氦气、氮气、氩气等特殊气体。

优势

高精度

压力控制精度范围：±0.2% of F.S.

定制化解决方案

可根据客户不同需求定制非常规量程、不同尺寸、不同接口(包括电气接口、机械接口）的产品及解决方案。

响应快

产品响应时间小于1.0 Second

支持双电源宽范围供电

使用±15VDC供电，双电源宽范围供电，电流小、功耗低。

创新点

产品全数字化

产品采用先进微处理器，具有高智能化、高可靠性，维护方便的优势。

双重控制技术

产品采用双重控制技术，可实现高响应、高精度的性能指标。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体显示

半导体照明

半导体-微机电系统

功率半导体

化合物半导体

技术指标

型号 PC300
满量程流量 (10 20 50 100 200 500 1000 2000 5000)SCCM
满量程压力 (10 20 50 100)Torr
控制方式 Downstream
压力控制精度 ±0.2% of F.S.
控制重复性 ±0.2% of F.S.
响应时间 <1.0 Second
工作温度范围 10℃ to 50℃
阀类型 Normally Closed
漏率 <1x10-12(SCC/SEC He)

PC300系列中文产品手册

2024-11-27

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