PC200 压力控制器

PC200 压力控制器用于对气体的压力进行精密控制和测量。主要应用于与半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等领域。

优势

控压精准度高

配置的压力传感分辨率高，可以检测出较高的压力精度。

响应时间快

压力阶跃时，可以快速实现压力的稳定，时间在1S左右。

定制化解决方案

支持定制不同机械接口和不同的控压范围，以及定制上下游控制模式。

创新点

支持双电源宽范围供电

使用±15VDC供电，双电源宽范围供电，电流小，功耗低。

模拟电压四种组合形式

模拟电压输入和输出有四种组合形式，可供选择。

上下游控压

上下游均可以实现控压，通过转换通道的流向，软件改变上下游控制参数，即可切换控压模式。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-显示

生命科学-分析仪器

科学研究-实验器材

技术指标

型号 PC200
压力类型 绝压、表压
控制压力的满量程 绝压：1000Torr、2000Torr； 300Kpa、3000mbar 表压：500Kpa
耐压 3MPa
阀口满量程流量 200sccm; 1、2、4、5、10、15、50SLM
控制方式 上游、下游
温度系数 Zero: ±0.02% of F.s./℃；Span: ±0.04% of Reading/℃
压力分辨率 0.1 Torr
压力控制精度 ±0.5% of F.S.
响应时间 <1.0 S
工作温度范围 5℃~50℃
机械接口 VCR1/4"阳接头、VCR3/8"阳接头
阀类型 常闭、常开
外漏 <5x10-12(Pa.m3/s He)
内漏 <1.0% of 阀口满量程流量 (阀关闭时，进气端为25psig，出气端为大气)
供电电源 +15~+24VDC(单级)、±15VDC(双极，仅支持DB-9针接口)
电气接口 DeviceNet接头、DB-9针、EtherCAT接头

注意：

气体压力控制器出厂通常用氮气(N2)标定。

气体压力的单位规定为：Torr (托); mbar(毫巴); KPa (千帕);

标准状态规定为：温度--273.15K（0℃ )；气压--101325 Pa（760mm Hg）

在华丞电子 PC 产品中，单位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，单位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。

F.S.(Full Scale)：满量程值； S.P.(Set Point)：设定点值

 

PC200气体压力控制器 中文使用手册V1.0

2024-11-28

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