北京华丞电子有限公司<br/>(原北京七星华创流量计有限公司)

北京华丞电子有限公司
(原北京七星华创流量计有限公司)

北京华丞电子有限公司<br/>(原北京七星华创流量计有限公司)

北京华丞电子有限公司(简称:华丞电子)原名北京七星华创流量计有限公司,在传承四十余年流量测控经验技术的基础上,整合融入射频、晶圆传输等专业技术优势和创新能力,致力于为半导体、清洁能源、特种工业、生命科学及科学研究五大领域用户,提供精密零部件产品及整体解决方案。

 

华丞电子秉承“以客户需求为导向的持续创新”理念,精研需求、尊重科学、潜心技术、持续创新,形成了流量测控、真空测控、气路系统、射频电源、ESC直流电源、磁流体密封装置、晶圆传输系统等系列产品。公司已布局四大研发生产基地,营销服务体系覆盖欧、美、亚主要国家和地区。

 

作为精密控制的先行者,华丞电子以持续创新为己任,勇于突破自身边界,积极探索前沿技术,以合作共赢为基础,为全球合作伙伴贡献华丞价值。

 

董事长致辞

小部件,成就大创想

当今时代充满了挑战与机遇,科技浪潮以前所未有的速度奔腾向前,集成电路(IC)、人工智能(AI)、5G通信、物联网(IoT)、自动驾驶、新能源等科学技术如同璀璨星辰,照亮了人类前进的征途。每一个细微的技术飞跃,都蕴藏着推动社会巨轮破浪前行的磅礴力量。

 

正如华丞电子以非凡的洞察力与不懈的奋斗精神,深耕高端精密零部件的研发和制造领域,将每一个看似微不足道的“小部件”,锻造成时代脉搏中跃动的鲜活细胞,为半导体、清洁能源、特种工业、生命科学和科学研究等多个关键领域提供支撑,为全球创新浪潮与持续发展奠定坚实基础,注入不竭动力。

 

华丞电子以发展高端精密零部件为己任,在传承四十余年流量测控经验技术的基础上,勇于开拓,敢于创新,整合融入射频、晶圆传输等专业技术优势和创新能力,着力打造中国先进的高端精密零部件产业平台。

 

展望未来,随着人类探索未知、追求卓越的脚步不断加快,关键零部件技术将持续发挥着至关重要的作用。华丞电子将紧握时代脉搏,持续增强自主创新能力,绽放高端精密零部件的耀眼光芒,为人类未来发展的“大创想”贡献华丞的智慧与力量。

华丞电子董事长:刘利坚

北京华丞电子有限公司<br/>(原北京七星华创流量计有限公司)
发展历程
1979
1985
1990
1994
1999
2001
2004
2006
2007
2008
2009
2010
2012
2013
2015
2017
2020
2021
2022
2023
2024
2025
1979
成功研发首台气体质量流量控制器

北京建中机器厂(国营七OO厂)流量计攻关小组成立,成功研制首台气体质量流量控制器D07-1/ZM型,并获得了1980年度“重大技术改进成果一等奖”。

1985
快响应、大流量气体质量流量控制器产品试机成功

快速气体质量流量控制器D07-7和大流量气体质量流量控制器D07-9产品样机试制成功。

 

1986年至1987年,D07-7A 快速气体质量流量控制器,先后获得“六五”国家科技攻关优秀产品奖和电子工业部科技成果奖。

 

1988年,成功研发首台气体流量校准台。

 

1990
研发新型快速气体质量流量控制器

成功研发新型D07-10/ZM、D07-10A/ZM,D07-10B/ZM型气体质量流量控制器系列产品。

 

1991年,D07-10/ZM产品获得机械电子工业部科学进步二等奖,同年获得北京市经济委员会北京市优秀新产品三等奖。


1994年,D07-10/ZM、D07-10A/ZM型号产品获国家科学技术委员会技术成果证书。

1994
起草编制国内第一个关于气体质量流量控制器行业标准

1993年,北京建中机器厂(国营第七OO厂)第九事业部成立, 专注质量流量控制器的研发生产。

 

1994年,与电子工业部标准化研究所联合编制国内第一个关于气体质量流量控制器的电子部工业标准:SJ/T10583-94《气体质量流量控制器通用技术条件》。

1999
成功研制多款气体质量流量控制器

1995年,成功研制D07-11/ZM高耐压气体质量流量控制器、D07-12/ZM型国际标准气体质量流量控制器。

 

1996年,成功研制D08型流量积算仪,适用于D07-13/ZM型气体质量流量控制器产品。

 

1999年,成功研制高精度 D07-15/ZM型气体质量流量控制器,产品具高稳流特点,产品结构紧凑。同期改进了D07-9C/ZM型大流量产品。

2001
流量计分公司、射频技术组陆续成立

2001年,七星华创流量计分公司成立。

 

2003年,北方微电子射频技术组成立。

2004
中法合资七星弗洛尔公司成立

七星华创与法国Quliflow公司成立合资公司——北京七星弗洛尔电子设备制造有限公司,负责生产制造七星华创D07系列气体质量流量控制器产品,以及Quliflow公司AFC系列数字流量计和LVC414型蒸汽流量计产品。

2006
气体质量流量控制器、自动化传输设备同步创新

成功研制D07-60A,D07-60F型大流量气体质量流量控制器产品,同年,D07-7C和D07-19B及D07-11C型高压产品通过CE认证。
 

流量计分公司与美国HELA公司签订联合合作协议,研发适用于8英寸半导体设备的全新高性能的数字质量控制器和流量计产品。


同年,七星华创成立自动化项目组,并成功研制出适用于半导体平面显示产线所需TFT清洗机、移载传送设备、磨边清洗机。

2007
七星集成成立,自动化部件新突破

北京七星华创集成电路装备有限公司(简称:七星集成)成立,自动化项目组正式以七星集成公司对外经营。

 

同年,七星集成研发生产的半导体显示领域UV固化炉获得客户认可。

 

2008
CS系列产品获得认可,公司实力不断提升

流量计分公司CS200热式数字气体质量流量控制器产品定型,进入批量生产。


同年6月,北京市工业促进局的省部级鉴定:“CS200气体质量流量控制器技术达到国内领先水平,综合技术指标达到了国际同类产品技术水平”。


流量测控班组荣获全国总工会颁发的“经济技术创新优秀班组“。

2009
产品屡获嘉奖,零部件批量化生产

2009年2月D07-9G产品通过UL认证。同时,公司精密机加的高端零件,进入批量生产,符合SEMI标准要求。

 

CS200产品被认定为北京市自主创新产品,并取得北京市发改委高新技术成果转化认定,CS产品被评为第三届中国半导体协会创新技术奖、第三届(2008年度)中国半导体创新产品半导体设备奖。

 

 

2010
半导体用气体质量流量控制器研发成功,七星集成搬入天竺综合保税区基地

2010年,流量计分公司成功研发半导体用气体质量流量控制器。

同年,北京顺义天竺综合保税区基地建成,七星集成搬入并将工业智能自动化技术作为核心竞争力,紧跟半导体显示产业的发展步伐,实现成本降低与效率提升。

2012
成功研制大规模集成电路装备用气体质量流量控制器

成功研发适用于大规模集成电路装备的CS300气体质量流量控制器,该产品采用了基于DF的压力信号补偿算法,各项技术指标均严格按照SEMI标准,支持W型,C型IGS气路系统。
 

2011年,数字产品CS230G通过北京市工业促进局的省部级鉴定,专家评价:“CS230G型气体质量流量控制器的技术水平达到国际领先”。


2012年,热式数字气体质量流量控制器获得北京市科学技术二等奖。

2013
新产品研发成功,获半导体行业认可

成功研发CS310和CS320热式数字气体质量流量控制器产品,采用压力信号补偿技术、支持国际标准气体接头的IGS气体系统使用、结合高精度的金属表面加工技术和机械加工技术,具有高精度、低零漂、高稳定性等优势。

 

同年,该产品获得第七届(2012年度)中国半导体协会等评选的中国半导体创新产品与技术奖励。

2015
七星集成成功研发TFT、OLED领域自动化设备

2015年,七星集成成功研发TFT、OLED领域自动化设备,其中TFT产品涵盖G2.5代线到G10.5代线主要设备。

 

2017
七星流量计成立,搬迁亦庄研发生产基地

2017年1月,北京七星华创流量计有限公司正式成立(简称“七星流量计”),次年搬入北京亦庄研发生产基地。

2020
流体测控、射频控制、晶圆传输产品突破创新

流量计分公司成功研发气体压力控制器。

 

七星集成,在2019年成功研发的晶圆盒传送存储Stocker产品、2020年成功研发晶圆传送系统WTS产品,进入客户端进行验证。

 

2020年,北方华创微电子成立射频工程中心,着力研发射频电源、ESC直流电源等产品。

 

2021
成功研制压力式气体质量流量控制器

2021年,七星流量计成功研发DS系列压力式气体质量流量控制器。

2022
核心技术全面创新

七星流量计成功研发应用于集成电路、先进封装、半导体照明、功率半导体、化合物半导体等领域的真空规、真空压力传感器、真空开关产品。

七星集成研发的晶圆传输系统WTS产品通过终端客户验证,设备前端模块EFEM实现小批量交付、晶圆传输平台MX-700进行客户验证。

射频工程中心实现ESC直流电源、BG系列射频电源量产。

2023
成功研发数字匹配器

射频工程中心成功研发高性能数字匹配器。

2024
华丞电子品牌元年

2024年七星流量计进行战略整合,融入射频控制、晶圆传输等核心技术,于5月27日,北京七星华创流量计有限公司正式更名为北京华丞电子有限公司,推出全新企业品牌“AURASKY”。

2025
北京亦庄总部基地落成

2025年5月,华丞电子正式搬入位于北京经济开发区景园街13号院的总部基地。

1979
1985
1990
1994
1999
2001
2004
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2007
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2020
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2024
2025