CS316 热式数字气体质量流量控制器-北京华丞电子有限公司

首页

CS316 热式数字气体质量流量控制器

CS316 热式数字气体质量流量控制器是专为关键半导体制造工艺设计的压力不敏感型质量流量控制器，采用了压力补偿技术，减少前端压力变化对瞬时流量的影响，从而保证了产品的稳定性和准确性。产品各项技术指标均严格按照SEMI标准，支持W型，C型IGS气路系统。

优势

低零漂

新型传感器采用恒功率原理，快速温度补偿保持热传导平衡，可有效抑制零漂。

高精度、快响应

产品准确度采用设定点精度，产品精度可达到±1%S.P.，响应时间≤0.7sec。

高稳定性

对前端气体压力的扰动进行有效的补偿，减少压力变化对瞬时流量的影响，从而保证产品的稳定性和准确性。

半导体级表面处理

产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面全部使用316L金属材料，严格按照SEMI标准生产制造。

创新点

电化学抛光技术

采用电化学抛光技术进行表面处理，机械部件内部表面粗糙度均达到5uinch Ra，具有卓越的耐腐蚀性能。

恒功率传感技术

传感器采用对称设计，保持上下游热传导平衡，选用高性能保温材质，有效抑制零漂现象。

压力补偿技术

压力补偿技术在32位高主频MCU的加持下，使得流量运算和调节速度显著提升，当MFC前端压力波动时能够有效避免流量波动，从而保证流量能稳定且精准的控制。

应用领域

半导体—集成电路

清洁能源—光伏

技术指标

型号	CS316
流量规格(N₂)	(0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional)
漏率	≤5×10¹² Pa·m³/s
响应时间	≤0.7 sec
工作压差范围	0.05~0.35MPa流量规格≤10SLM 0.15~0.35MPa 流量规格>10SLM
温度系数	零点: ≤±0.02%F.S./℃; 调节时: ≤±0.05%F.S./℃
重复精度	±0.2%F.S.
线性	±0.5%F.S.
压力瞬变灵敏度	10~100sccm±(5%S.P+1%F.S.最大) 【3PSI/秒】 100~10SLM±(1%S.P+1%F.S.最大) 【5PSI/秒】
耐压	3.5 MPa
密封材料	金属密封
工作环境温度	(0~50) ℃
输入信号	Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet
输出信号	Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet
电源	±8~±16 VDC(双极)或+14~+28 VDC (单极)
标准接头形式	VCR1/4阳接头;1.125"C型密封接头;1.125"W型密封接头

相关产品

CS200 热式数字气体质量流量控制器

半导体—集成电路

半导体照明

清洁能源—光伏

清洁能源—氢能燃料电池

特种工业—石油化工

特种工业—光纤

特种工业—真空镀膜

特种工业—热处理

生命科学—环境保护

生命科学—食品工业

生命科学—生物工程

生命科学—医疗健康

生命科学—分析仪器

科学研究—实验器材

CS200 热式数字气体质量流量控制器采用先进传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量控制器的响应时间方面更加岀色。

CS210 热式数字气体质量流量控制器

半导体照明

特种工业—石油化工

特种工业—光纤

特种工业—真空镀膜

特种工业—热处理

生命科学—环境保护

生命科学—食品工业

生命科学—生物工程

生命科学—医疗健康

生命科学—分析仪器

科学研究—实验器材

CS210 热式数字气体质量流量控制器是一款数模兼容的热式原理产品，可广泛应用于光伏、燃料电池、真空等行业，用于控制工艺制程的气体流量，具有高精度、高稳定性、低零漂等特点。

CS312 热式数字气体质量流量控制器

半导体—集成电路

半导体照明

特种工业—真空镀膜

科学研究—实验器材

CS312 热式数字气体质量流量控制器采用新型低零漂传感器和温度补偿技术，产品精度可以达到设定值1%以内，低温度系数可保证产品适应不同的环境温度，主要应用于半导体行业的工艺设备中，精确控制工艺气体流量，具有低零漂、高精度、快响应、耐腐蚀等特点。

联系我们

如您有任何疑问，请在此留下详细需求信息，我们将竭诚为您服务。

安全验证

我已阅读并同意华丞电子隐私声明

立即提交

%{tishi_zhanwei}%