CS312 热式数字气体质量流量控制器-北京华丞电子有限公司

CS312 热式数字气体质量流量控制器

CS312 热式数字气体质量流量控制器采用新型低零漂传感器和温度补偿技术，产品精度可以达到设定值1%以内，低温度系数可保证产品适应不同的环境温度，主要应用于半导体行业的工艺设备中，精确控制工艺气体流量，具有低零漂、高精度、快响应、耐腐蚀等特点。

优势

低零漂

新型传感器采用恒功率原理,快速温度补偿保持热传导平衡,有效抑制零漂。

精度高

采用设定点精度的方法，流量控制精度可达1%S.P.。

响应时间快

响应时间≤0.8秒,满足客户工艺要求。

创新点

恒功率传感技术

传感器采用对称设计,保持上下游热传导平衡,选用高性能保温材质,有效抑制零漂现象。

电化学抛光技术

采用电化学抛光技术进行表面处理,机械部件内部表面粗糙度均达到5μinch Ra,具有卓越的耐腐蚀性能。

应用领域

半导体—集成电路

半导体照明

特种工业—真空镀膜

科学研究—实验器材

技术指标

技术名称	CS312
流量规格(N₂)	(0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
准确度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional)
漏率	≤5×10⁻¹² Pa·m³/s
响应时间	≤0.8 sec
工作压差范围	0.05~0.35MPa流量规格≤10SLM 0.15~0.35MPa 10SLM<流量规格≤30SLM 0.30~0.50MPa 30SLM<流量规格≤50SLM
温度系数	零点: ≤±0.02%F.S./℃; 调节时: ≤±0.05%F.S./℃
重复精度	±0.2% F.S.
线性	±0.5% F.S.
耐压	3.5MPa
密封材料	金属密封
工作环境温度	(0~50) ℃
输入信号	Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet
输出信号	Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet
电源	±8~±16 VDC (双极)或+14~+28 VDC(单极)
标准接头形式	VCR1/4阳接头;1.125"C型密封接头;1.125"W型密封接头