CS200 热式数字气体质量流量控制器-北京华丞电子有限公司

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CS200 热式数字气体质量流量控制器

CS200 热式数字气体质量流量控制器采用先进传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量控制器的响应时间方面更加岀色。

优势

高精度，高稳定性

采用转化速率快、温度系数低、共模抑制比强、功耗低的信号处理芯片，使得产品具有高精度、高稳定性、高抗干扰性能的特点。精度最高可达±0.8%S.P.

低零漂

采用恒功率原理的低功耗传感器，搭配软硬件实现的温度补偿功能，实现低零漂。在没有校正时，零点≤0.5%F.S., 温度系数小于0.02%F.S./℃ (zero), 0.05%F.S./℃ (span)。

完善的功能

具有自动清零、报警、软启动、延时等功能，配备强大的免费客户端使用软件。

创新点

VCP的阀控技术

阀控技术采用多项新成果，统称VCP技术，该结构阀内部气体死区空间少，阀响应速度快，无磁滞现象。采用VCP技术可以有效的提高气体质量流量控制器品质。

恒功率传感器

采用了一种新型恒功率式传感器技术，该技术采用保持传感器工作状态恒定方法，大幅度提高了系统测量精度、响应速度等多项指标。

数字传感器补偿技术

采用一种数字式传感器电桥平衡方法，可以用连续的电压对传感器驱动电压进行温度补偿，提高了产品传感器对于温度漂移抑制，使产品可以抵抗温度剧烈变化。

应用领域

半导体—集成电路

半导体照明

清洁能源—光伏

清洁能源—氢能燃料电池

特种工业—石油化工

特种工业—光纤

特种工业—真空镀膜

特种工业—热处理

生命科学—环境保护

生命科学—食品工业

生命科学—生物工程

生命科学—医疗健康

生命科学—分析仪器

科学研究—实验器材

技术指标

型号	CS200
类号	A		C			D
流量规格(N₂)	(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM		(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30)SLM
准确度	±1.0%S.P.(≥35%F.S.); ±0.35%F.S.(<35%F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 1 sec		≤0.8 sec(SEMI E17-0600)			≤1 sec
阀类型	Normally Closed or Normally Open	N/A	Normally Closed or Normally Open		N/A	Normally Closed or Normally Open	N/A
工作压差范围	(0.05~0.35)MPa(≤10SLM) (0.1~0.35)MPa10SLM (0.2~0.45)MPa30SLM	<0.02MPa	(0.05~0.35) MPa(≤10SLM) (0.1~0.35) MPa(>10SLM)		<0.02MPa	(0.05~0.35)MPa(≤10SLM) (0.1~0.35)MPa(>10SLM)	<0.02MPa
温度系数	Zero:≤±0.05%F.S./C; Span:≤±0.1%F.S./℃ Flow≤30SLM ≤±0.2%F.S./℃ Flow>30SLM		Zero:≤±0.02% F.S./℃; Span:≤±0.05%F.S./℃
最大工作压力	0.45MPa
耐压	3MPa
漏率	1×10⁻¹⁰ Pa·m³/sec He(1×10⁹atm· cc/sec He)		1×10⁻¹¹ Pa·m³/sec He(1×10⁻¹⁰atm· cc/sec He)
密封材料	Viton		Metal			Metal
表面化学成分	————		Cr/ Fe ratio>2.0; CrO thickness >20 Angstroms			————
表面粗糙度	25 μinch Ra		10 uinch Ra			25 μinch Ra
工作环境温度	(5~45)℃		(0~50)℃
输入信号	Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBus or EtherCAT; Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA or(0~20)mA	N/A	Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBusTK or EtherCAT ; Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA or(0~20)mA		N/A	Digital: RS485 or DeviceNet" or ProfiBus or EtherCAT; Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA or(0~20)mA	N/A
输出信号	Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBus or EtherCAT male; Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA or (0~20)mA
电源	±8~±16 VDC or+14~+28 VDC or+20.4~+26.4 VDC (EtherCAT)
电气连接	D sub 9 pin s male;D sub 15 pin s male; DeviceNet; ProfiBus or EtherCAT; Analog
标准接头形式	VCR1/4"M;VCO1/4"M;A-sael; Compression Fittingφ10; Compression Fittingφ6; Compression Fitting 3/8"; Compression Fittingl/4"; Compression Fittingl/8"; Compression Fittingφ3; φ6(inner)×1hose;φ5(inner)×1.5hose;φ4(inner)×1hose		VCR1/4"M; Compression Fittingφ6; Compression Fittingφ3; Compression Fittingl/4"; W-seal;C-seal
重量	1kg	0.8kg	1.2kg	1kg		1.2kg	1kg

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