CS210 热式数字气体质量流量控制器-北京华丞电子有限公司

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CS210 热式数字气体质量流量控制器

CS210 热式数字气体质量流量控制器是一款数模兼容的热式原理产品，可广泛应用于光伏、燃料电池、真空等行业，用于控制工艺制程的气体流量，具有高精度、高稳定性、低零漂等特点。

优势

高精度，高稳定性

采用转化速率快、温度系数低、共模抑制比强、功耗低的信号处理芯片，使得产品具有高精度、高稳定性、高抗干扰性能的特点。精度最高可达±0.8%S.P.

低零漂

采用恒功事原理的低功耗传感器，搭配软硬件实现的温度补偿功能，实现低零漂。在没有校正时，零点≤0.5%F.S., 温度系数小于0.02%F.S./℃ (zero), 0.05%F.S./℃ (span)。

完善的功能

具有自动清零、报警、软启动、延时等功能，配备强大的免费客户端使用软件。

创新点

VCP的阀控技术

阀控技术采用多项新成果，统称VCP技术，该结构阀内部气体死区空间少，阀响应速度快，无磁滞现象。采用VCP技术可以有效的提高气体质量流量控制器品质。

恒功率传感器

采用了一种新型恒功率式传感器技术，该技术采用保持传感器工作状态恒定方法，大幅度提高了系统测量精度、响应速度等多项指标。

数字传感器补偿技术

采用一种数字式传感器电桥平衡方法，可以用连续的电压对传感器驱动电压进行温度补偿，提高了产品传感器对于温度漂移抑制，使产品可以抵抗温度剧烈变化。

应用领域

半导体照明

特种工业—石油化工

特种工业—光纤

特种工业—真空镀膜

特种工业—热处理

生命科学—环境保护

生命科学—食品工业

生命科学—生物工程

生命科学—医疗健康

生命科学—分析仪器

科学研究—实验器材

技术指标

型号	CS210
类号	A		C		D
流量规格(N₂)	(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM		(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30)SLM
准确度	Type:±1.0%S.P.(≥35% F.S.);±0.35%F.S.(<35%F.S.) Special; ±0.8% S.P.(≥35% F.S.);±0.3% F.S.(<35% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤1sec		≤0.8 sec(SEMI E17-0600)
阀类型	Normally Closed or Normally Open (F.S.≤30slm)	No Valve	Normally Closed or Normally Open	No Valve	Normally Closed or Normally Open	No Valve
工作压差范围	0.05~0.35MPa(Flow≤10slm)0.1~0.35MPa(10slm<Flow≤30slm)0.2~0.45MPa(Flow>30slm)	<0.02MPa	(0.05~0.35)MPa(≤10slm) (0.1~0.35)MPa(>10slm)	<0.02MPa	(0.05~0.35)MPa(≤10slm) (0.1~0.35)MPa(>10slm)	<0.02MPa
最大工作压力	0.45MPa
温度系数	Zero:≤±0.05% F.S./℃; Span:≤±0.1% F.S./℃ (Flow≤30slm) Span:≤±0.2% F.S./℃ (Flow>30slm)		Zero:≤±0.02% F.S./℃; Span:≤±0.05% F.S./℃
耐压	3MPa (435pisg)
漏率	1×10^-9atm·cc/sec He		1×10^-10atm·cc/sec He
密封材料	Viton		Metal(Stainless Steel V/V,5Ra)		Metal
表面化学成分	——		Cr/ Fe ratio>2.0; CrO thickness>20 Angstroms		——
表面粗糙度	25 μinch Ra		10μinch Ra		25 μinch Ra
工作环境温度	(5~45)℃		(0~50)℃
输入信号	Digital: RS485 or EtherCAT Analog: 0~5V/4~20mA	N/A	Digital: RS485 or EtherCAT Analog: 0~5V/4~20mA	N/A	Digital: RS485 or EtherCAT Analog: 0~5V/4~20mA	N/A
输出信号	Digital: RS485 or EtherCAT; Analog: 0~5V/4~20mA
电源	±8~±16VDC(双极);+20.4~+26.4 VDC (单级)
电气连接	9 pin male sub-D,15 pin male sub-D, EtherCAT
标准接头形式	VCR1/4” M;VCO1/4” M;A-sael; Compression Fittingφ10; Compression Fittingφ6; Compression Fitting 3/8”; Compression Fittingl/4”; Compression Fittingl/8”; Compression Fittingφ3; φ6(inner)×1hose;φ5(inner)×1.5hose;φ4(inner)×1hose;		VCR1/4” M; Compression Fittingφ6; Compression Fittingφ3; Compression Fittingl/4”; W-seal; C-seal
重量	1kg	0.8kg	1.2kg	1kg	1.2kg	1kg