CS100 热式数字气体质量流量控制器

CS100产品是基于华丞电子CS系列产品技术平台开发，在拥有恒功率传感器技术，数字传感器平衡技术，VCP线控制技术的基础上，采用客户定制化设计，客户可根据需要选用符合自身需求的产品，同时其独创的客户零点补唯功能(CGC)，能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题，使产品更好的适应客户环境。

优势

高精度，高稳定性

采用转化速率快、温度系数低、共模抑制比强、功耗低的信号处理芯片，使得产品具有高精度、高稳定性、高抗干扰性能的特点。精度最高可达±0.8%S.P.

低零漂

采用恒功率原理的低功耗传感器，搭配软硬件实现的温度补偿功能，实现低零漂。 在没有校正时，零点≤0.5%F.S., 温度系数小于0.02%F.S./℃ (zero), 0.05%F.S./℃ (span)。

完善的功能

具有自动清零、报警、软启动、延时等功能,配备强大的免费客户端使用软件。

创新点

VCP的阀控技术

阀控技术采用多项新成果，统称VCP技术，该结构阀内部气体死区空间少，阀响应速度快，无磁滞现象。采用VCP技术可以有效的提高气体质量流量控制器品质。

恒功率传感器

采用了一种新型恒功率式传感器技术，该技术采用保持传感器工作状态恒定方法，大幅度提高了系统测量精度、响应速度等多项指标。

数字传感器补偿技术

采用一种数字式传感器电桥平衡方法，可以用连续的电压对传感器驱动电压进行温度补偿，提高了产品传感器对于温度漂移抑制，使产品可以抵抗温度剧烈变化。

应用领域

清洁能源—光伏

特种工业—石油化工

特种工业—光纤

特种工业—真空镀膜

特种工业—热处理

生命科学—环境保护

生命科学—食品工业

生命科学—医疗健康

生命科学—分析仪器

科学研究—实验器材

技术指标

型 号 CS100
CS100A CS100D
准确度 ±1.0%S.P.(≥35%F.S.);±0.35%F.S.(<35%F.S.)
线性 ±0.5%F.S.
重 复 精 度 ±0.2%F.S.
响 应 时 间 ≤ 1sec
阀类型  Normally Closed N/A  Normally Closed N/A
工作压差范围

(0.05~0.35)MPa(≤10 SLM)

 

(0.1~0.35)MPa(10＜流量规格≤30SLM）

 

(0.25~0.45)MPa(30＜流量规格≤50SLM）

 <0.02 MPa

(0.05~0.35)MPa(≤10 SLM)

 

(0.1~0.35)MPa(10＜流量规格≤30SLM）

 <0.02 MPa
温 度 系 数  Zero:≤±0.05%F.S./℃; Span: ≤±0.1%F.S./℃
最大工作压力 0.45MPa
耐压 3MPa 10MPa 3MPa 10MPa
漏率 1×10⁻⁹ Pa·m³/sec He(1×10⁻⁸atm· cc/sec He)
密 封 材 料  Viton  Metal
工作环境温度 (5~45)℃
输 入 信 号

 Analog:

 

(0~5)VDC

  Digital:RS485 N/A N/A

 Analog:

 

(0~5)VDC

  Digital: RS485 N/A N/A
输 出 信 号

 Analog:

 

(0~5)VDC

  Digital: RS485

 Analog:

 

(0~5)VDC

  Digital: RS485

 Analog:

 

(0~5)VDC

  Digital: RS485

 Analog:

 

(0~5)VDC

  Digital: RS485
电源接头形式

D sub 9

 

 pins male;

 

D sub 15

 

 pins male

D sub 9

 

 pins male;

 

3 pin

 

 male O

 D sub15 pins male

D sub 9

 

 pins male;

 

D sub 15

 

 pins male

D sub 9

 

 pins male:

 

3 pin

 

 male O

 D sub15 pins male

D sub 9

 

 pins male;

 

D sub 15

 

 pins male

D sub 9

 

 pins male;

 

3 pin

 

 male O

 D sub15 pins male

D sub 9

 

 pins male;

 

D sub 15

 

 pins male

D sub 9

 

 pins male;

 

3 pin

 

 male O

 D sub15 pins male
供 电 电 源 ±15V ±15V +24V ±15V ±15V +24V ±15V ±15V +24V ±15V ±15V +24V
自 动 清 零  Support
表 面粗糙度 25 μinch Ra
标准接头形式

 Compression Fittingφ6; Compression Fittingφ3;

 

 Compression Fittingl/4"; Compression Fittingl/8";

 

VCR1/4"M:

 

φ6(inner)×1hose;φ5(inner)×1.5hose;φ4(inner)×1hose

 VCR1/4"M
重量 1.2Kg 1Kg 1.2Kg 1Kg

 

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