CS230A 热式数字气体质量流量控制器

CS230A产品是华丞电子研发的中大流量产品,最高流量可达300SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加出色,最多2秒的高速响应将使用过程中产生的系统误差最小化,流量更加精准,产品具备低零漂、低温漂性能,产品支持 DeviceNet,RS485通讯协议。

优势

高精度，高稳定性

采用转化速率快、温度系数低、共模抑制比强、功耗低的信号处理芯片，使得产品具有高精度、高稳定性、高抗干扰性能的特点。精度最高可达±0.8%S.P.

低零漂

采用恒功事原理的低功耗传感器，搭配软硬件实现的温度补偿功能，实现低零漂。 在没有校正时，零点≤0.5%F.S., 温度系数小于0.02%F.S./℃ (zero), 0.05%F.S./℃ (span)。

完善的功能

具有自动清零、报警、软启动、延时等功能,配备强大的免费客户端使用软件。

创新点

VCP的阀控技术

阀控技术采用多项新成果，统称VCP技术，该结构阀内部气体死区空间少，阀响应速度快，无磁滞现象。采用VCP技术可以有效的提高气体质量流量控控器品质。

恒功率传感器

采用了一种新型恒功率式传感器技术，该技术采用保持传感器工作状态恒定方法，大幅度提高了系统测量精度、响应速度等多项指标。

数字传感器补偿技术

采用一种数字式传感器电桥平衡方法，可以用连续的电压对传感器驱动电压进行温度补偿，提高了产品传感器对于温度漂移抑制，使产品可以抵抗温度剧烈变化。

应用领域

清洁能源—光伏

特种工业—热处理

生命科学—环境保护

生命科学—食品工业

技术指标

型号 CS230 A
流量规格(N₂) (50,100,150,200,250,300)SLM
准确度 ±1.0% S.P.(≥35%F.S.)±0.35%F.S.(<35%F.S.)
线性 ±0.5%F.S.
重 复 精 度 ±0.2%F.S.
响 应 时 间 ≤ 2 sec
阀类型  Normally Closed N/A
工作压差范围 (0.15~0.35)MPa(50SLM≤Flow<150SLM)
(0.20~0.35)MPa(150SLM≤Flow≤250SLM)
(0.25~0.40)MPa(250SLM<Flow≤300SLM)		 50~100SLM: <0.02MPa
> 100SLM: <0.05MPa
温 度 系 数  Zero:≤±0.05%F.S./℃; Span: ≤±0.1%F.S./℃
最大工作压力 1MPa
耐压 3MPa
零漂 <0.6%F.S. per year without autozero
漏率 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/sec He(1×10⁻⁹atm·cc/sec He)
密 封 材 料  Viton; Neoprene
工作环境温度 (5~45)℃
输 入 信 号  Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBus; Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA N/A
输 出 信 号  Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBus;
Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA
电源 ±8~±16VDC or+14~+28 VDC
电 气 连 接 D sub 9 pins male;D sub 15 pins male; DeviceNet male; ProfiBus
标准接头形式  Compression Fittingφ6; Compression Fittingl/4";(available to Flow≤60SLM)
Compression Fittingφ8mm(available to Flow≤200SLM)
Compression Fitting φ10mm; Compression Fitting 3/8"; Compression Fitting 1/2";VCR 1/2"M
重量 2.6kg 1.5kg

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