DS312 压力式气体质量流量控制器-华丞电子

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DS312 压力式气体质量流量控制器

DS312 是一款控制精度高、相应速度快的质量流量控制器（MFC），主要用于刻蚀机等对机器性能要求高的半导体机台。

优势

控制精度高

精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)

响应速度快

响应时间≤ 0.5sec

低零漂现象

深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理

完全符合SEMI标准要求

具备进口压力检测功能

创新点

基于PTC（Pressure，Temperature，Channel）的压力传感技术

P. 特殊定制的传感技术，可达0.1ms。 T. 压力（P）—温度（T）双参量特性温度补偿技术。 C. 独特的流体通道设计技术。

全新的压电阀结构原理技术

压电阀采用压电陶瓷驱动结构，其具有输出驱动力大、控制精确度高，结构紧凑、电磁污染小和功耗低、响应时间快。

高精度的压电阀驱动技术

采用新型DC/DC控制器，应用独特的BOOST拓扑结构，有效地降低了输出纹波，提高了电源效率。

完全符合SEMI要求的材料表面处理技术

a、全金属密封结构，接触气体部分的材质，SEMI F20 UHP Compliant，Hastelloy C-22 （特殊气体选用）； b、EP抛光技术； c、超微孔加工技术。

应用领域

半导体—集成电路

半导体—微机电系统

功率半导体

化合物半导体

半导体—先进封装

半导体显示

半导体照明

技术指标

型号	DS312
流量规格	50~10000sccm （DS312C）
流量规格	50~5000sccm （DS312W）
阀类型	常闭
进口压力	240～450kPaA 流量规格≤5SLM
进口压力	350～450kPaA 流量规格＞5SLM
出口压力	≤3.3kPaA （DS312C）
出口压力	≤13.3kPaA （DS312W）
最大耐压	1Mpa
工作温度	10℃ ~ 45℃
外漏	1 x 10^-11 Pa·m³ / sec He
精度 ( 包含线性、标定系统精度等)	<= ±1%S.P. （>=10%F.S. ）
重复精度	<= ±0.3%S.P. （>=10%F.S. ）
响应时间（流量达到设定点的±2%内）	<= 0.5 sec
标准电源接头	DeviceNet接头
通讯协议	DeviceNet
标准气路接头	IGS-C, IGS-W
接气部分材质	F20

注：

1. F.S.：满量程full scale

2. kPaA：kPa，绝压

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