300mm (氮气) 晶圆盒传送存储系统主要由晶圆盒FOUP载入系统LoadPort、晶圆盒FOUP缓存架Shelf、机械手Robot、全密封式FIMS、氮气吹扫系统N₂ Purge、气动系统以及电控系统等部分组成。实现晶圆盒FOUP的载入载出、暂存、氮气吹扫和晶圆盒FOUP开关盒等功能。该产品中晶圆盒FOUP载入系统分为A/B两个工位，用于实现晶圆盒FOUP的载入载出，晶圆盒FOUP缓存架共有18个工位，可以实现多个晶圆盒FOUP的存储，在存储过程中氮气吹扫系统N₂ Purge功能开启，可以有效降低晶圆盒FOUP内的含氧量及湿度。机械手Robot用于在各工位之间的取放和搬运。全密封FIMS可以实现晶圆盒FOUP开关盒功能并保证Stocker与工艺设备之间的密封要求。

300mm 晶圆盒传送存储系统主要由晶圆盒FOUP载入系统LoadPort、晶圆盒缓存架Shelf、机械手Robot、全密封式FIMS、气动系统以及电控系统等部分组成。实现晶圆盒FOUP的载入载出、暂存和晶圆盒FOUP开关等功能。该产品中晶圆盒FOUP载入系统分为A/B两个工位，用于实现晶圆盒FOUP的载入载出，晶圆盒FOUP缓存架共有18个工位，可以实现多个FOUP的存储。机械手Robot用于在各工位之间的取放和搬运。全密封FIMS可以实现晶圆盒FOUP开关盒功能并保证Stocker与工艺设备之间的密封要求。

EFEM设备前端模块(Equipment Front End Module)能够与各种半导体工艺设备（刻蚀，PVD，CVD，清洗设备等）实现无缝连接，在高洁净环境下，EFEM设备通过高精度机械手实现晶圆在晶圆装载系统与工艺模块之间的自动化传输。晶圆装载系统（Load Port）、晶圆运输机器人（Robot）、晶圆对准器（Aligner）是最核心的三大部件。EFEM设备内部带有多重互锁保护，保障晶圆传输过程中，人员与设备的安全。3工位EFEM设备具备3个Load Port，是一种常用的EFEM设备。