PC气体压力控制器

  华丞电子PC气体压力控制器 拥有多种系列 PC100、PC200和PC300 这三个系列产品有什么不同? 它们都应用在哪些领域? 今天,小编为您一一介绍! 

  PC100 压力控制器 

   PC100系列压力控制器是华丞电子研发的数字型压力控制产品,通过使用压力控制器可使得腔室内的压力不受气体流量变化而波动,进而维持恒定的压力环境,确保工艺过程的稳定性,提高产品良率,目前该产品已成功应用在光伏领域。

  PC200 压力控制器  

  PC200系列压力控制器配置了高分辨率的压力传感器,具有测压精度高、响应时间快等优势,支持上下游控压,表压或绝压,该产品已广泛应用在半导体领域。     

  PC300 压力控制器  

  PC300系列压力控制器是晶圆背面冷却系统中的核心部件,通过产品向半导体晶圆背面与CHUCK平台之间通入气体并控制气体压力。产品带有流量传感器,可实现流量测量功能,目前已成功应用于半导体领域。 

 

  三个系列产品主要参数对比,见下表:

  除此之外,PC100、PC200、PC300系列压力控制器还有多种型号产品。华丞电子可根据您的需求定制非常规量程、不同尺寸、不同接口的定制化产品。  

  如您需要选购气体压力控制器,可参考以下选型要点:  选型要点 

  压力范围: 确保选购产品的测量和控制范围,覆盖您所需的设定点范围 

  流量范围: 确保选购产品的流通能力,覆盖您所需的使用范围 

  介质兼容性: 需要明确测控的气体,确认产品是否 可测控该气体。如果是强腐蚀性气体,则需要选择防腐蚀性产品 

  环境适应性: 需要知道被测介质的实际温度,和控制器所处的工作环境温度 

  通讯形式: 确保通讯信号与现有系统兼容 

  安装方式: 选择合适的接头类型和通道尺寸