华丞电子射频控制技术,赋能半导体先进制程

半导体——科技文明的基石
    半导体已深度融入现代生活血脉,成为科技文明的基石。从智能手机里的纳米级芯片驱动万物互联,到5G基站用氮化镓器件构建超高速网络;从光伏板将阳光转化为清洁能源,到电动汽车以碳化硅模块精准控电;从CT机用探测器捕捉病灶,到自动驾驶依赖传感器感知路况——半导体以无形之手重塑世界。它让计算更快、通信更远、能源更绿、医疗更准,支撑起智能时代的每个场景。

半导体工艺的"无形精雕刀"——射频技术
    在半导体制造的核心环节,刻蚀与沉积堪称纳米尺度的"微观雕塑"。射频(RF)技术作为关键能量源,通过激发反应腔室内的气体分子形成等离子体:刻蚀工艺中,等离子体精准剥离冗余材料,构建微米级电路结构;沉积过程中,则驱动薄膜材料的原子级均匀生长。射频能量密度的精准控制直接决定工艺速率与图形精度,堪称半导体制造的"无形精雕刀"。

华丞电子新品首秀——射频控制与检测产品
    华丞电子于2024年完成全面升级,产品阵容丰富壮大,涵盖流体测控、真空测控、射频控制以及晶圆传输等系列产品,广泛应用于半导体制造的关键环节。公司正式更名为北京华丞电子有限公司(简称:华丞电子),并推出全新品牌“AURASKY”。
    在SEMICON China 2025展会上,华丞电子首次推出射频控制与检测产品。目前已成功应用于先进逻辑芯片制造、3D封装及宽禁带等半导体生产设备。

    射频电源工作频率可覆盖400kHz至13.56MHz、功率范围为5W至45kW,并支持扫频功能与多种脉冲模式。
    射频传感器能够对反应腔室状态进行电压、电流、阻抗和相位等实时检测,为半导体工艺装备提供稳定的过程监控及故障诊断。
    ESC直流电源是静电卡盘(ESC)专用电源,具有最高达15kV(±7.5kV)的电压输出,包括双极型和单极型,可适配各类静电卡盘,为晶圆吸附提供稳定静电场。

    目前,华丞电子已搭建零部件平台研发及产业化基地,着力研发生产半导体、清洁能源、生命科学等领域核心精密零部件产品。未来,华丞电子将不断扩宽产品应用,为更多领域客户提供值得信赖的产品。