流体控制是利用各种控制单元来精确控制流体流量、压力、真空度等关键指标，以满足各种工业领域的特殊工艺需求。华丞电子深耕流体控制领域40余年，目前已形成气体质量流量控制器、压力控制器、真空规、真空压力开关、压力传感器、压差计、液体压力传感器、汽化器、气路系统等系列产品，在集成电路、光伏、真空镀膜及科学研究等众多领域都发挥着至关重要的作用。

射频控制&检测产品包括射频电源、匹配器、射频传感器和直流电源，旨在通过领先的技术实现精准的等离子体控制，为半导体制造工艺 （如刻蚀、薄膜沉积等） 提供稳定的射频能量输出。华丞电子多年潜心研发，拥有多品类的射频控制&检测产品，也可开发定制化的配置和功能来满足特定的应用要求。射频电源工作频率覆盖400kHz至13.56MHz，功率范围从5W至45kW，并支持扫频功能与多种脉冲模式。匹配器产品具有单输出、双输出、多频等多种规格，工作频率覆盖400kHz至60MHz，通过基于模型的动态阻抗匹配算法，实现射频能量高效、精确传输至等离子体腔体，满足半导体等领域的复杂需求。射频传感器能够对反应腔室状态进行电压、电流、阻抗和相位等实时检测，为半导体工艺装备提供稳定的过程监控及故障诊断。ESC直流电源是静电卡盘 （ESC）专用电源，具有最高达15kV （±7.5kV） 的电压输出，包括双极型和单极型，可适配各类静电卡盘，为晶圆吸附提供稳定静电场。

晶圆传输是通过智能运动控制系统实现晶圆可靠性传输和存储，通过优异的产能管理、颗粒物控制、振动抑制、运动路径规划等技术实现高良率控制。华丞电子研发生产的晶圆传输产品可实现晶圆单片、批次的大气和真空稳定传输控制，目前研发制造的晶圆盒传送存储系统、晶圆传输系统、设备前端模块、晶圆传输平台已经在半导体和泛半导体领域多家客户端实现量产交付。