QLB系列VCR型气路系统

QLB系列气路产品主要为VCR及卡套密封形式，整体气路系统由隔膜阀、调压阀、压力传感器、过滤器、MFC及不锈钢管件接头等部件组合而成，能够根据客户需求提供多种解决方案。

优势

VCR设计能力

为多家半导体客户定制开发产品，在VCR的盘面设计及选型等面积累诸多经验。

全套零部件的解决方案

根据客户需求进行器件的最优选，并保证交付的连续供应。

高纯焊接能力

根据SEMI标准及ASTM标准搭建，可满足高纯净半导体级焊接需求。

创新点

在设备工艺管路中，实现了对流体的输送、混合、调试、控制（包括开关、减压、过滤、分流、流量控制等）。

设备工艺管路中气体混合过程中的安全保障。

设备客户工艺设计解决方案。

应用领域

半导体—集成电路

半导体照明

清洁能源—光伏

特种工业—光纤

特种工业—真空镀膜

生命科学—分析仪器

科学研究—实验器材

技术指标

型号 标  准
零部件入库检查 形状与尺寸与图纸一致，实物型号与部件表的型号一直
安装标准 各阀门仪表流向、安装位置与图纸要求一致，管道平整
保压 12小时压降≤1%
漏率 ≤1×10-10 Pa·m³/S
焊接件标准 无明显焊疤，焊接部位表面无伤痕、脏污、烧痕完全去除
焊道偏离范围小于壁厚 20%以内、焊道匀直、无明显外凸内凹及错位现象
外观标准 外观整洁，各部位无明显磕伤
元器件标签、接口方式等与图纸一致
目视检查气柜内部有无腐蚀、雾化或变色等信息

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气路系统是华丞电子自主研发的气路输送系统整体解决方案。随着半导体领域的快速发展，零部件小型化的需求愈发凸显，传统的VCR型气路系统难以满足要求，IGS型气路系统应运而生。IGS型气路系统具有气体直方向运输，体积小，便于安装维护等特点，是未来气路输送系统发展的方向；经过MFC多年研发经验的沉积，华丞电子的IGS气路盘具有高密封性，高精度，集成度高等优点，并可依托华丞电子建立的特气实验室对特殊气体进行研究测量，保证IGS气路盘的特殊气体控制的高准确性。

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