气路系统是华丞电子自主研发的气路输送系统整体解决方案。随着半导体领域的快速发展，零部件小型化的需求愈发凸显，传统的VCR型气路系统难以满足要求，IGS型气路系统应运而生。IGS型气路系统具有气体直方向运输，体积小，便于安装维护等特点，是未来气路输送系统发展的方向；经过MFC多年研发经验的沉积，华丞电子的IGS气路盘具有高密封性，高精度，集成度高等优点，并可依托华丞电子建立的特气实验室对特殊气体进行研究测量，保证IGS气路盘的特殊气体控制的高准确性。