IGS气路系统-华丞电子

IGS气路系统

IGS气路系统是专为半导体领域研发的新型气路输送解决方案。它采用气体直路方向运输设计，体积小巧，便于安装与维护，满足零部件小型化需求。华丞电子凭借多年研发经验，赋予其高密封性、高精度和高集成度特点，并依托特殊气体实验室，确保特殊气体控制的高准确性，这也是未来IGS气路系统的发展方向。

优势

IGS 设计能力

为多家半导体客户定制开发产品，在IGS的Block-器件拼搭设计及选型等面积累诸多经验。

全套零部件的解决方案

根据客户需求进行气路零部件的最优选，并保证交付的连续供应。

高纯焊接能力

根据SEMI标准及ASTM标准搭建，可满足高纯净半导体级焊接需求。

创新点

在设备工艺管路中实现对流体的多种控制，包括输送、混合、过滤、分流、流量控制等。

为设备工艺管路中的多种特气的运行提供安全保障

使用高纯器件，在可控环境中为腔室及真空管路提供超净环境。

应用领域

半导体照明

半导体—集成电路

技术指标

型号	标准
零部件入库检查	形状与尺寸与图纸一致，实物型号与部件表的型号一直
安装标准	各阀门仪表流向、安装位置与图纸要求一致，管道平整
保压	12小时压降≤1%
漏率	≤1×10^-10 Pa·m³/S
颗粒度	连续3次测试，0.1um以下的颗粒数≤3个
水分	≤10ppb
氧分	≤10ppb
焊接标准	无明显焊疤，焊接部位表面无伤痕、脏污、烧痕完全去除
焊接标准	焊道偏离范围小于壁厚 20%以内、焊道匀直、无明显外凸内凹及错位现象
外观标准	外观整洁，各部位无明显磕伤
	元器件标签、接口方式等与图纸一致
	目视检查气柜内部有无腐蚀、雾化或变色等信息

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特种工业—光纤

特种工业—真空镀膜

生命科学—分析仪器

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VCR气路系统主要采用VCR密封形式，整体气路系统由质量流量控制器、隔膜阀、调压阀、压力传感器、过滤器及不锈钢管件接头等部件组合而成，能够根据客户需求提供多种解决方案。

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