D07-11 热式模拟气体质量流量控制器
D07-11 热式气体质量流量控制器/流量计根据毛细管传热温差量热法原理,设置模拟量程,不因温度和压力的波动而失准,无需进行温度、压力补偿即可实现对各种气体精准测量和控制。D07-11系列产品为华丞电子研发的高压产品,最高耐压10MPa。
优势
高耐压性
最大工作压力可达10MPa。
控制稳定,精度高,重复性好
准确度小于±1%F.S.,线性度小于±0.5%F.S.,重复精度小于±0.2%F.S.。
易于维护
设计简洁易用,维护方便,能够降低使用和维护成本。
创新点
VCP的阀控技术
阀控技术采用多项新成果,统称VCP技术,该结构阀内部气体死区空间少,阀响应速度快,无磁滞现象。采用VCP技术可有效提高气体质量流量控制器控流稳定性。
恒功率传感器
采用了一种新型恒功率式传感器技术,大幅提高系统测量准确性及响应速度。
应用领域
特种工业—石油化工
特种工业—光纤
特种工业—真空镀膜
特种工业—热处理
生命科学—环境保护
生命科学—食品工业
生命科学—生物工程 生命
科学—医疗健康
生命科学—分析仪器
科学研究—实验器材
技术指标
型号 | D07-11C |
流量规格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | |
流量控制范围 | 2~100% of F.S. |
准确度 | ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S.) |
线性 | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S.) |
重复精度 | ±0.2 %F.S. |
响应时间 | ≤ 10 sec |
工作压差范围 | ≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa (29~116psid) |
>10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa (29~87psid) | |
最大工作压力 | 10 MPa (1450psig) |
耐压 | 10 MPa (1450psig) |
工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
输入信号 | 0 V ~ +5.00 V |
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) | |
输出信号 | 0 V ~ +5.00 V |
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) | |
电源 | +15 V 50 Ma; -15V 200 mA |
重量 | 1.2kg |
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