D07-11 热式模拟气体质量流量控制器-华丞电子

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D07-11 热式模拟气体质量流量控制器

D07-11 热式气体质量流量控制器/流量计根据毛细管传热温差量热法原理，设置模拟量程，不因温度和压力的波动而失准，无需进行温度、压力补偿即可实现对各种气体精准测量和控制。D07-11系列产品为华丞电子研发的高压产品，最高耐压10MPa。

优势

高耐压性

最大工作压力可达10MPa。

控制稳定，精度高，重复性好

准确度小于±1%F.S.，线性度小于±0.5%F.S.，重复精度小于±0.2%F.S.。

易于维护

设计简洁易用，维护方便，能够降低使用和维护成本。

创新点

VCP的阀控技术

阀控技术采用多项新成果，统称VCP技术，该结构阀内部气体死区空间少，阀响应速度快，无磁滞现象。采用VCP技术可有效提高气体质量流量控制器控流稳定性。

恒功率传感器

采用了一种新型恒功率式传感器技术，大幅提高系统测量准确性及响应速度。

应用领域

特种工业—石油化工

特种工业—光纤

特种工业—真空镀膜

特种工业—热处理

生命科学—环境保护

生命科学—食品工业

生命科学—生物工程生命

科学—医疗健康

生命科学—分析仪器

科学研究—实验器材

技术指标

型号	D07-11C
流量规格	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
流量规格	( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
流量控制范围	2~100% of F.S.
准确度	±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S.)
线性	±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S.)
重复精度	±0.2 %F.S.
响应时间	≤ 10 sec
工作压差范围	≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa (29~116psid)
工作压差范围	＞10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa (29~87psid)
最大工作压力	10 MPa (1450psig)
耐压	10 MPa (1450psig)
工作环境温度	5 ℃ ~ 45 ℃
输入信号	0 V ~ +5.00 V
输入信号	(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
输出信号	0 V ~ +5.00 V
输出信号	(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
电源	+15 V 50 Ma; -15V 200 mA
重量	1.2kg

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