D07-19 热式模拟气体质量流量控制器-北京华丞电子有限公司

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D07-19 热式模拟气体质量流量控制器

D07-19 热式气体质量流量控制器/流量计根据毛细管传热温差量热法原理，设置模拟量程，不因温度和压力的波动而失准，无需进行温度、压力补偿即可实现对各种气体精准测量和控制。D07-19系列产品具有稳定性高、易维护等特点。

优势

高精度、高稳定性、快速响应

准确度小于±1%F.S.，线性度小于±0.5%F.S.，重复精度小于±0.2%F.S.，响应速度不超过2s。

零漂系数低

采用软硬件实现温度补偿功能，零点： ≤±0.05% F.S./℃；调节时：≤±0.1% F.S./℃。

功能完善

具有自动清零、报警、软起动、延时等功能的客户端使用软件。

国际认证

取得CE、ROHS认证。

创新点

数字内核电路板

数字内核计算，实现更好的控制调节，并实时交互数据。

恒功率传感器

采用了一种新型恒功率式传感器技术，大幅提高系统测量准确性及响应速度。

数字传感器补偿技术

采用数字式传感器电桥平衡方法补偿传感器驱动电压，抑制温度漂移。

VCP的阀控技术

阀控技术采用多项新成果，统称VCP技术，该结构阀内部气体死区空间少，阀响应速度快，无磁滞现象。采用VCP技术可有效提高气体质量流量控制器控流稳定性。

应用领域

特种工业—石油化工

特种工业—光纤

特种工业—真空镀膜

特种工业—热处理

生命科学—环境保护

生命科学—食品工业

生命科学—生物工程

生命科学—医疗健康

生命科学—分析仪器

科学研究—实验器材

技术指标

型号	D07-19B	D07-19J	D07-19JM
流量规格	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
	( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM	( 0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
流量控制范围	2~100% of F.S.
准确度	±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±1 % F.S.
线性	±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±0.5 % F.S.
重复精度	±0.2 % F.S.
响应时间	≤2 sec
工作压差范围	≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa ＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa	0.1 ~ 0.4 MPa (≤10SLM) 0.1 ~ 0.3 Mpa(10SLM＜F.S.≤30SLM) 0.25~ 0.45 MPa (＞30SLM)	<0.02 MPa (2.9 psid)
最大工作压力	1 MPa (145psig)
耐压	3 MPa (435.1 psig)	3 MPa (435.1 psig)
漏率	1×10-9Pa·m3/sec He
温度系数	Zero: ≤±0.05% F.S./℃; Span: ≤±0.1% F.S./℃;
工作环境温度	5 ℃ ~ 45 ℃
输入信号	0 V ~ +5.00 V （输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)	4-20mA或0 ~ 5V或1 ~ 5V
输出信号	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)	4-20mA或0 ~ 5V或1 ~ 5V
电源	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	24VDC 400 mA；+15V 50mA , - 15V 200mA
重量	0.95 kg	1.2kg	1.0 kg

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