BV200 蝶阀-华丞电子

BV200 蝶阀

BV200 蝶阀是数字型压力控制类阀门产品，为气体压力的控制提供了高准确度及高可靠性。该型产品支持数字信号控制，使用单电源+24 VDC供电。

优势

位置精准度高

配备5000线光电编码，位置分辨率可高达12800（90°）。

控压稳定性好

压力控制精度可达0.1%S.P.，稳定工作时蝶阀开度波动性小于1%S.P.

满足先进工艺应用需求

支持工艺数据记忆，满足设备间传递，工艺稳定性良好，满足客户使用。

定制化解决方案

支持阀体不同材质定制，支持不同蝶板间隙定制，支持多种标准机械接口定制，支持SPS功能、PFO功能扩展。

创新点

双路自匹配压力传感技术

支持两路真空规信号采集，兼容±15V或±24真空规供电，可根据工艺需求自动切换量程。

自学习功能技术

支持自学功能，可自适应不同腔室真空系统及不同工况，实现快速、准确的压力控制。

L-V-P压力控制技术

压控单元通过记录工艺环境下压力与阀门开度关系，采用位置、速度和压力三环相结合，同时进行压位比、位压比、目标压力位置、到达目标压力估算时长动态计算，从而主动干预阀口开度变化量，实现快速、稳定控压。

先进伺服驱动技术

采用定制伺服控制片载系统，通过多点斜坡控制算法，实现蝶板更快定位，开关响应时间可达0.2秒。

应用领域

半导体-集成电路

功率半导体

技术指标

型号	BV200
材质	阀体/阀板	铝合金6061/不锈钢613L
	轴/阀板螺钉	不锈钢316L
	轴承套筒	lglidur X
轴承密封圈	环境端	FKM
轴承密封圈	真空端	FKM
阀体漏率	不锈钢材质	1×10E-9 mbar ·L/s
通信接口		RS485(D-sub female,DB25)或DeviceNet(DNET航空插头)
供电口	接口类型	D-sub male,DA15
供电口	电压	+24 VDC
功耗	控制/驱动	40 W
使用环境	温度	0~50摄氏度，建议在35度以下使用
使用环境	湿度	0~95%RH
规接口参数	接口类型	D-sub female,DA15
	信号电压	0～10VDC线性压力
	ADC分辨率	0.1 mV
	采样时间	2ms
	供电电压(输出)	+24 VDC/1.5A max.
执行器		步进电机
电机分辨率		12800(90°)
控压精度		5 mV或设定点的0.1%,取大值
防护等级		IP 40
通道内径		40mm/50mm/63mm/80mm/100mm
阀板开关时间		0.2s

注意：

蝶阀出厂通常用电压对传感器信号进行标定

气体压力的单位规定为：Torr(托)；mbar(毫巴)

标准状态规定为：温度--273.15K（0℃ )；气压--101325 Pa（760mm Hg）

在华丞电子 PC 产品中，单位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，单位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同

F.S.(Full Scale)：满量程值； S.P.(Set Point)：设定点值