热式质量流量计也叫量热式流量计，是一种根据热扩散原理测量气体流量的仪表，当流体经过受到热源加热的管道时，温度场会发生变化，热式质量流量计就是通过这一变化来，或者流体温度上升需要的能量与流体质量的关系对对流体流量进行测量。在很多工业领域有大量的使用。

　　热式质量流量计工作原理

　　热式质量流量计是根据热扩散设计的一种流量计，利用传热的原理，简单来说就是通过流体与热源的热量交换关系来对流量进行测量，所以也叫量热式流量计，在其内部有两个传感器，一个测量流体速度，另一个气体温度变化，在测量时，这两个传感器会同时置于被测气体中，一个传感器会被加热，另一个则用来感应被测气体，气体流速的增加会带走过多的热量，使传感器温度下降，通过计算流速与温度的关系，得出当前流体的流量值。

热式质量流量计应用

　　热式质量流量计主要在半导体行业，光伏行业，燃料电池行业，真空行业，分析仪器行业，新型材料，热处理，石油化工，汽车电子，食品工业，实验器材，光纤行业，电力电子，医疗行业等行业有大量应用，可用来测量各类气体流量，流速。

　　七星流量计作为 热式质量流量计厂家，对热式质量流量计进行如下的分类：CS系列质量流量计，D07系列质量流量计和DS系列质量流量控制器。

CS系列产品采用了国际好的的技术,申报并获得66项国家专利,其中PCT2项,发明专利24项。CS 系列产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对于模拟产品具有精度高,响应快,使用便捷，可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等优点。CS系列产品已被广泛应用于半导体、太阳能、燃料电池、真空、分析仪器、光电、制气、石化、医疗等行业。D07系列质量流量计产品种类50余种，涵盖普通型，大量程型，高精度型，快响应型，耐压型，金属密封型等多种类型的需求。以及DS系列MFC是压力式数字型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。