BV100 蝶阀-北京华丞电子有限公司

BV100 蝶阀

BV100 蝶阀广泛应用于半导体，平板显示，晶体硅太阳能和工业制程中，用于控制腔室的下游压力。

优势

位置精准度高

配备5000线光电编码器，位置分辨率可高达12800（9°）。

满足先进工艺应用需求

支持工艺数据记忆，满足设备间传递，工艺稳定性良好。

控压稳定性好

压力控制精度可达0.1%S.P，稳定工作时蝶阀开度波动性小于1%S.P。

定制化解决方案

支持不同阀体材质定制、不同蝶板间隙定制，支持多种标准机械接口定制、SPS功能、PFO功能扩展。

创新点

双路自匹配压力传感技术

支持两路真空规信号采集，兼容±15V或±24V真空规供电，可根据工艺需求自动切换量程。

L-V-P压力控制技术

压控单元通过记录工艺环境下压力与阀门开度关系，采用位置、速度和压力三环相结合，同时进行压位比、位压比、目标压力位置、到达目标压力估算时长动态计算，从而主动干预阀口开度变化量，实现快速、稳定控压。

先进伺服驱动技术

采用定制伺服控制片载系统，通过多点斜坡控制算法，实现蝶板更快定位，开关响应时间可达0.2s。

应用领域

半导体-集成电路

半导体显示

技术指标

注意：

蝶阀出厂通常用电压对传感器信号进行标定

气体压力的单位规定为: Torr (托)

标准状态规定为: 温度 -- 273.15K (0℃) ; 气压 -- 101325 Pa(760mm Hg)

F.S.(Full Scale): 满量程值; S.P.(Set Point): 设定点值

BV100蝶阀中文使用手册V1.0

2024-11-28