EPC100 反应腔室压力控制器-北京华丞电子有限公司

EPC100 反应腔室压力控制器

反应腔室压力控制器(Exhaust Pressure Controller，简称 EPC)用于对气体的压力进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

优势

快速机械式控压

基于空气动力学原理，采用气浮活塞结构技术，可实现调压阀的高速、低摩擦运动。

支持模拟控制与数字控制

同时支持数字信号和 0~5V 模拟信号。

耐腐蚀

接触气体材料采用防腐蚀PTFE材料。

创新点

基于机械气浮活塞的多力平衡技术

净化间压力、重力、弹簧张力及工艺压力，四种力作用于活塞以保持恒定的工艺压力，对于某一压力设定点而言，合力平衡仅取决于工艺过程压力，从而实现排气波动快速调节。

带有软迟滞补偿的电机变频控制技术

设定点不变时，活塞可以自我调节控制，设定点变化时，电机闭环控制。闭环控制过程中，根据实际压力与设定压力的差值，分段制定不同的阈值进行电机变频控制，越近设定点电机运动越缓慢，从而达到压力稳定控制。

氮气反冲防腐蚀设计技术

结合气流分层原理“以气控气”，利用高压氮气对低压工艺气体反冲，形成气体保护层以阻止腐蚀气体外溢，避免造成压传器件腐蚀，从而提高产品使用寿命。

应用领域

半导体/集成电路

半导体/先进封装

功率半导体

化合物半导体

清洁能源/光伏

科学研究/实验器材

技术指标

注意：

气体压力控制器出厂通常用氮气(N₂)标定

气体压力的单位规定为：Torr(托)；mbar(毫巴) ；mmH2O (毫米水柱)

标准状态规定为：温度--273.15K（0℃ )；气压--101325 Pa（760mm Hg）

在华丞电子 PC 产品中，单位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，单位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同

F.S.(Full Scale)：满量程值； S.P.(Set Point)：设定点值

EPC100反应腔室压力控制中文使用手册V1.0

2024-11-28