VD-03扩散器-华丞电子

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VD-03扩散器

VD-03扩散器采用粉末冶金工艺制备的金属多孔材料滤芯。滤芯在烧结过程中形成的大量微米级孔道能实现气体匀化和层流化，保证气体的通过性，达到较短的Vent-up时间。同时，这种微观结构强化了对亚微米颗粒吸附、扩散等过滤效应，具有过滤最小粒径0.0015μm颗粒的能力。扩散器壳体可以选用316L VV材料并进行EP处理，扩散器耐腐蚀性得到进一步提高。独特的焊接工艺保证了多孔材料滤芯与壳体的牢固结合，使扩散器整体具有高强度。

优势

强大的研发能力

拥有一支学历层次合理、经验丰富的产品开发团队，与多家高校和企业有广泛合作。

符合SEMI标准的净化生产环

清洗、装配和测试环节均在百级净化间内完成，产品洁净度得到有效保证

完善的测试体系

华丞拥有各类先进测试仪器，并依托第三方机构开展产品性能测试，产品指标真实可靠。

创新点

低气阻和高效过滤的完美平衡

专门开发的粉末冶金工艺制成了即可保证气体通过性，又能有效滤除亚微米颗粒物的扩散器

微弧多孔材料焊接

采用先进微弧自动焊接技术，防止氧化、变色和不熔合等缺陷，提高了扩散器结构强度。

提供定制化方案

如连接方式、壳体和滤芯材料、表面粗糙度等可根据客户要求提供定制化方案。

应用领域

半导体—集成电路

半导体照明

技术指标

性能	指标
Vent Efficiency	20psig时，~0.5sec/L
Particle Shedding	按SEMI F43， particle above background(＜1particle/ft3)
过滤精度	0.0015μm
滤芯材料	316L
壳体材料	316L或316L VV★可选
Wetted surface finish	Ra0.2μm(10Ra)或Ra0.1μm(5Ra)可选
进气接口	¼”Male Swivel VCR（外螺纹）
出气接口	ISO NW50
O型圈材质	Viton
端面环形密封槽	外径68.5mm×内径60.5mm×深2.6mm
最大使用温度	惰性气氛下，460°C（仅金属）；100°C（含O型圈）
最大工作压力	60psig（4.1barg）
最大工作压差	75psid（5.2bar）
结构特点	扩散器为焊接结构，结构强度高，颗粒少
使用寿命	300万次

注：进、出气接口型式、扩散器尺寸、滤芯材料可按客户要求定制；

注★：316L VV是指采用VIM+VAR双真空冶炼工艺的高洁净度316L不锈钢，具有高耐腐蚀性。