FV100 汽化器

FV100 汽化器是一种将前驱体液体雾化形成液滴气溶胶，然后流入高效热交换器形成蒸汽设备。以提供基本上不含颗粒污染物的高纯度气体或蒸汽混合气，用于半导体薄膜沉积和工业涂层应用的CVD、PECVD、ALD薄膜沉积。

优势

重量低，体积小

产品仅重1.3kg，最高仅177mm，最宽处56mm可以安装在狭小空间中，节省机台设备空间。

汽化效率高

可以达到100%汽化效率，可以稳定高效输出汽体。

设备免维护

巧妙的结构设计减少了后期维护成本。

可定制

适用多种工艺前驱体（TEOS/TEPO/TEB/H20 .etc.)，可根据客户不同流量，温度需求定制相应汽化器。

创新点

汽化效率高

可达到100%汽化效率，稳定高效输出汽体。

节省空间

产品最高177mm，最宽处56mm。

半导体-集成电路

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型号

FV100

type

尺寸

mm×mm×mm

Size

重量

1.3kg

Weight

接头

进气：1/4”VCR; 进液：1/8”VCR×2；出口：1/2”VCR

Joint

材质

316L

Mterial

漏率

<1×10-8 scc/sec Helium

Lake rate

加热器规格

208 VAC, 60Hz, 400W

Heater

载气

惰性气体

Carrier gas

液体流量范围

0-10g/min(TEOS)

Flow range

系统可承受最大压力

1.0MPa

Position resolution

温度传感器种类

Type K Thermocouple

Temperature sensor

安装位置

any

Mounting position

最高耐压

1.0 Mpa

Pressure resistance

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