2MHz连续波射频电源
优势
控制接口丰富、使用方便
控制模式多样灵活
具有较强的稳定性、一致性、可靠性
具有完善的自我诊断和保护功能
全数字控制平台
创新点
丰富灵活的波形控制功能
AFT、DFT扫频技术
脉冲扫频技术
应用领域
半导体-集成电路
半导体-先进封装
半导体显示
半导体照明
半导体-微机电系统
功率半导体
化合物半导体
技术指标
产品型号 |
BG1202 |
BG1502 |
BG3002 |
工作频率 |
(1.765-2.165MHz)± 0.005% |
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频率模式 |
固定频率、选频 |
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脉冲模式 |
无 |
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调节模式 |
FWD |
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输出功率 |
1250W |
1500W |
3000W |
输出功率精度 |
≤±1%或1.5W |
≤±1%或3W |
|
输出阻抗 |
50Ω |
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供电电压 |
3相208V±10% 50/60Hz |
3相480V±10% 50/60Hz |
|
输出接口 |
N Female |
HN Female |
HN Female |
响应时间 |
射频响应时间≤100ms |
射频响应时间≤ 100 ms |
|
工作模式 |
CW |
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脉冲同步 |
无 |
||
通信接口 |
Analog port、RS232/485 |
Analog port、RS232/485、DeviceNet |
|
谐波抑制 |
≤-45dBc |
≤-45dBc |
≤-45dBc |
冷却方式 |
水冷+风冷 |
水冷+风冷 |
水冷+风冷 |
RAMP功能 |
无 |
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