2MHz连续波射频电源-华丞电子

2MHz连续波射频电源

2MHz BG系列射频电源，为连续波射频电源，工作频率范围在1.765 MHz～2.165 MHz 具备选频功能，50Ω负载下，满足输出1250W、1500W、3000W额定功率，功率精度≤±1%，由供电部分、射频部分和控制部分组成，散热方式为水冷和风冷。

优势

控制接口丰富、使用方便

用户可通过显示触摸屏、模拟接口、RS232/RS485接口、DeviceNet、EtherCat、EtherNet等多种控制通讯接口对射频电源进行灵活便捷的操作。

控制模式多样灵活

具备前向功率模式、负载功率模式、AP模式、BVC模式（BGP）等多种控制模式，满足不懂工艺控制需求。

具有较强的稳定性、一致性、可靠性

射频电源谐波<-45dB，功率精度1%，功率重复性0.5%，具有较强的稳定性、一致性、可靠性。

具有完善的自我诊断和保护功能

一致性，谐波、杂散小。

全数字控制平台

采用FPGA+ARM的双核控制，数字高速采集、数字控制，实现射频电源的高速、高精度实时控制。

创新点

AFT扫频技术

具备AFT扫频技术，可适用于刻蚀、PVD等不同应用场景的快速扫频

宽频宽负载射频网络

在1.8MHz~2.17MHz范围内，可适用于ICP刻蚀、CCP刻蚀、PVD等不同类型负载阻抗的起辉和匹配，同时兼顾高可靠性和高稳定性

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体显示

半导体照明

半导体-微机电系统

功率半导体

化合物半导体

技术指标