2MHz连续波射频电源

2MHz BG系列射频电源,为连续波射频电源,工作频率范围在1.765 MHz~2.165 MHz 具备选频功能,50Ω负载下,满足输出1250W、1500W、3000W额定功率,功率精度≤±1%,由供电部分、射频部分和控制部分组成,散热方式为水冷和风冷。

优势

控制接口丰富、使用方便

用户可通过显示触摸屏、模拟接口、RS232/RS485接口、DeviceNet、EtherCat、EtherNet等多种控制通讯接口对射频电源进行灵活便捷的操作。

控制模式多样灵活

具备前向功率模式、负载功率模式、AP模式、BVC模式(BGP)等多种控制模式,满足不懂工艺控制需求。

具有较强的稳定性、一致性、可靠性

射频电源谐波<-45dB,功率精度1%,功率重复性0.5%,具有较强的稳定性、一致性、可靠性。

具有完善的自我诊断和保护功能

一致性,谐波、杂散小。

全数字控制平台

采用FPGA+ARM的双核控制,数字高速采集、数字控制,实现射频电源的高速、高精度实时控制。

创新点

丰富灵活的波形控制功能

具有连续波、单脉冲、双脉冲、多脉冲等波形控制功能,具有多台射频电源间的脉冲同步异步功能。

AFT、DFT扫频技术

具有自动AFT扫频技术、DFT动态扫频技术、DFT扫频参数自学习技术,适应复杂负载情况下的快速高精度扫频。

脉冲扫频技术

具有脉冲独立扫频技术,实现脉冲控制与扫频控制的配合使用,满足先进工艺多个脉冲的独立扫频功能。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体显示

半导体照明

半导体-微机电系统

功率半导体

化合物半导体

技术指标

产品型号

BG1202

BG1502

BG3002

工作频率

(1.765-2.165MHz)± 0.005%

频率模式

固定频率、选频

脉冲模式

调节模式

FWD

输出功率

1250W

1500W

3000W

输出功率精度

≤±1%或1.5W

≤±1%或3W

输出阻抗

50Ω

供电电压

3相208V±10% 50/60Hz

3相480V±10% 50/60Hz

输出接口

N Female

HN Female

HN Female

响应时间

射频响应时间≤100ms

射频响应时间≤ 100 ms

工作模式

CW

脉冲同步

通信接口

Analog port、RS232/485

Analog port、RS232/485、DeviceNet

谐波抑制

≤-45dBc

≤-45dBc

≤-45dBc

冷却方式

水冷+风冷

水冷+风冷

水冷+风冷

RAMP功能

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