13MHz脉冲射频电源-北京华丞电子有限公司

13MHz脉冲射频电源

射频电源是一种能够产生固定频率正弦波或脉冲电压的电源设备，其工作频率位于射频范围内，并具有一定的功率输出能力。13MHz BGP系列射频电源，工作频率13.56MHz，可输出额定功率范围1500W~6000W。

优势

体积小、功率密度大

紧凑半机架型外观设计及优化后的水冷系统带来轻便的整机使用体验，更高的射频输出能力与功率精度为新一代工艺提供坚实的基础。

较高的稳定性与一致性

在 50Q和非 500负载下，有出色的输送功率精度和控制性能，结合优异的重复性为工艺稳定性带来了保障。

适用性强

适用于各类刻蚀、沉积、离子注入等工艺机台，硬件接口有较强的通用性，支持 RS232、RS485、EtherCAT 通讯方式。

软件升级能力

具有完善的报警系统、数据记录能力及丰富的功能，且有着强大的软件开发团队，针对不同的需求定制升级新的功能。

创新点

CEX功能

可以将两个或以上的电源锁定，以相同的频率并保持固定的相位关系输出到同一个等离子体中，该功能可以减轻串扰，并消除与之相关的问题。

选频/扫频功能

支持 13.56MHz±5% 带宽的固定频率输出，可选频率调谐功能，自动扫频实现毫秒数量级快速阻抗匹配。

HALO功能

可选 HALO(高精确度、低输出)支持 5W~30W 功率输出，功率分辨率支持 0.1W。

Dual-Level功能

在脉冲功能上升级 dual-level功能，满足更多先进工艺制程中高深宽比(HAR)的刻蚀需求。

Ramp功能

可设功率爬升/下降速度，精确的控制功率已满足不同工艺制程的使用。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体显示

半导体照明

半导体-微机电系统

功率半导体

化合物半导体

技术指标

技术参数	BGP1513	BGP3013	BGP6013
功率范围	15W~1500W	30W~3000W	60W~6000W
频率	13.56MHz
供电要求	三相208V，50/60Hz AC input
脉冲功能是否支持	支持
输出阻抗	50Ω
输出精度	功率精度：≤3W；频率精度：±0.005%；		功率精度≤6W；频率精度±0.005%；
冷却方式	风冷+水冷3/8" NPT cooling water interface；
供电接头	harting
输出接头	HN(Female)
电源尺寸	half rack		full rack
通讯接口	RS232、RS485、EtherCAT