双极系列 ESC直流电源-北京华丞电子有限公司

双极系列 ESC直流电源

ESC DC Power即ESC直流电源，是一种专用于静电卡盘（ESC）的直流高压静电电源，本产品为双极输出电源，可同时提供正和负直流电压，通过专用电缆和滤波电路，连接到静电卡盘直流电极上，为静电卡盘提供产生吸力的直流高压。

优势

宽范围、高精度、高偏置

多种输出电压范围可选，满足对不同电压范围需求；输出电压精度最高可达±1%S.P；可设置/可检测偏置电压高达2000V。

低纹波

低电压纹波意味着稳定的输出电压及强抗干扰能力，为静电卡盘提供更平稳的直流电源供应。

多种输入控制可选

触摸屏控制、25pin IO、RS232、EtherCAT等。

创新点

具备极性反转、放电功能

可实现单极/双极输出电压的极性反转功能；内置自动放电电路，可迅速将静电卡盘上的剩余电荷安全地释放。

具备监测功能

可实现对输出电压、输出电流、输入偏压（CT）的监测功能，可通过模拟量或数字量实时反馈，确保满足特定的工艺要求。

具备输出保护机制

具备过电压保护，输出电压超过设定值10%时关闭输出；具有过流保护，可通过控制端设置电流限制值，输出电流超过设定值10%时关闭输出。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体显示

半导体照明

技术指标

型号	BEC0402	BEC0301	BE1200/BEC1200
电源输入	24VDC，1A		24VDC，2A
输出电压	0~±2000Vdc（ 4000Vdc）	0~±1500Vdc（ 3000Vdc）	0~±6000Vdc（ 12000Vdc）
输出电压精度	设置值 1000Vdc-4000Vdc 范围内，误差 1%以内（of set point）设置值<1000Vdc，误差实际值=设定值±10Vdc	设置值 1000Vdc-3000Vdc 范围内，误差 1%以内（of set point）；设置值<1000Vdc，误差实际值=设定值±10Vdc;	设置值 1000Vdc~12000Vdc 范围内，误差 1%以内（ of setpoit）
输出电流	0~10V：0~2mA max		0~10V : 0~1mA max
输出电压线性误差	30Vdc-4000Vdc， 1%以内	30Vdc-3000Vdc， 1%以内	1000Vdc-12000Vdc， 1%以内
通讯方式	手动、 25pin I/O， RS232
CT(Center-Tap)	可检测/可设置，0-10V:0Vdc~-2000Vdc	可检测/可设置， 5-10V: -1000Vdc~+1000Vdc	无
其他说明	升级双极串口设置CT功能	升级功能（1）新增VR+/VR-指令:允许/禁用极性反转模式（2）新增SCT指令:设置CT值（3）新增限流保压功能	BEC1200支持双正双负功能
HV对地隔离	＞10M
输入输出隔离	＞500M
极性反转	支持
放电功能	支持
保护机制	过电压保护、过电流保护