单极系列 ESC直流电源-北京华丞电子有限公司

单极系列 ESC直流电源

ESC DC Power即ESC直流电源，是一种专用于静电卡盘（ESC）的直流高压静电电源，本产品为单极输出电源，可同时提供正和负直流电压，通过专用电缆和滤波电路，连接到静电卡盘直流电极上，为静电卡盘提供产生吸力的直流高压。

优势

宽范围、高精度

多种输出电压范围可选，满足对不同电压范围需求；输出电压精度最高可达±1%S.P。

低纹波

低电压纹波意味着稳定的输出电压及强抗干扰能力，为静电卡盘提供更平稳的直流电源供应。

多种输入控制可选

触摸屏控制、25pin IO、RS232、EtherCAT等。

创新点

具备极性反转、放电功能

可实现单极/双极输出电压的极性反转功能；内置自动放电电路，可迅速将静电卡盘上的剩余电荷安全地释放。

具备监测功能

可实现对输出电压、输出电流的监测功能，可通过模拟量或数字量实时反馈，确保满足特定的工艺要求。

具备输出保护机制

具备过电压保护，输出电压超过设定值10%时关闭输出；具有过流保护，可通过控制端设置电流限制值，输出电流超过设定值10%时关闭输出。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体显示

半导体照明

技术指标

型号

BE0400

电源输入

24VDC，1A；

输出电压

单极 4000Vdc

输出电流

0~10：0~2mA max

输出电压线性误差

30Vdc~+4000Vdc，1%以内-30Vdc~-4000Vdc，1%以内

通讯方式

手动、25pin I/O，RS232

CT(Center-Tap)

无

对地隔离

＞10M

输入输出隔离

＞500M

极性反转

支持

放电功能

放电时，HV+或HV-端对地电阻为200kΩ±5%

保护机制

过电压保护可设置电流限制值