LPT100 液体压力传感器

LPT100 液体压力传感器是一款为半导体技术发展需求而研制的高精度耐腐蚀的产品，主要应用于集成电路湿法制程中的CMP、清洗等设备上。

优势

精准度高

采用高精度传感器元件，快速响应流体介质压力，测得准确压力值。精度误差在1%以内，满足使用需求。

稳定性高

在0-100PSIG循环压力值下运行，可输出信号保持稳定性和准确性。

定制化解决方案

可根据用户需求定制开发，如量程、接头、输出信号等，提供对应的设计方案，以满足客户需求。

创新点

基于压力信号采集和转换技术

可实现流体压力信号的精确测量Structural design of corrosion resistant

抗腐蚀传感器结构设计

优良的耐酸、碱、氧化剂等化学试剂的性能

半导体级别洁净度工艺

使用高纯材料，满足半导体零部件设计要求

应用领域

半导体-集成电路

技术指标

型号 LPT100

材质

接液部分

本体：PTFE

传感器及接头：PFA

密封：全氟O圈

非接液部分

PE，PP，PVDF等

线缆

FEP或AFPF包裹

物理参数

压力范围

0-30，0-60，0-100（psig）

过载压力

1.5*F.S.

接口类型

单端式

T型

机械接头

1/4、3/8、1/2 Flared

1/4MNPT

电气参数

供电电压

+24VDC

输出信号

4-20mA, 0-5V或0-10V

精度

1% F.S.

工作温度

10-60℃

线缆长度

1.5M

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