单输出匹配器-北京华丞电子有限公司

单输出匹配器

射频匹配器是一种用于使负载阻抗与射频电源的阻抗匹配，减少反射功率，使传输功率达到最大的设备。不同的匹配器，被设计成适用于单个频率或多个频率段，以满足不同的应用场景。

优势

实现多种脉冲信号的精确匹配

兼容连续波和脉冲波射频信号匹配功能，可以实现单级脉冲信号、双级脉冲信号和多级脉冲信号的快速精确匹配，用于先进工艺制程。

适应多种机台阻抗范围的应用

可定制从400kHz到60MHz频率段、10W到45kW功率段各种型号，涵盖低频到甚高频的各种应用下的阻抗范围，在刻蚀、薄膜沉积、原子层沉积、原子层刻蚀、去胶等多种工艺下应用。

高精度和快速匹配

采用高速信号采样传感器模块和先进匹配算法，实现对负载阻抗的高精度和快速匹配，满足客户在功能和性能方面的各项指标要求，特别是一致性和可靠性方面有大规模应用经验。

创新点

全域高速匹配算法

适合各种现有频率匹配器的特有算法，能够优化匹配路径，实现高速匹配。

高速自适应电机驱动系统

特殊优化的电机驱动模式，自适应整节转速，实现高速平稳运行。

智能信号采样和控制系统

智能信号采样实现稳定的电压和电流前提下，大幅降低采样误差，配合控制系统，有效提升匹配精度。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体显示

半导体照明

半导体-微机电系统

功率半导体

技术指标

功率范围	5W-10kW
频率范围	400kHz±10% /2MHz±10% /13.56MHz±5% /27.12MHz±5% /40.68M±5% /60MHz±5%
匹配速度	≤1s(合适预设) or 3s
匹配精度	≤1%*前向功率 or 5W
信号类型	连续波，脉冲波（SLP/DLP/MLP）
通讯接口	RS232/EtherCAT
供电电压	24V DC
冷却类型	强制风冷
阻抗范围	根据客户需求定制
机械尺寸	根据客户需求定制
接口形式	根据客户需求定制
应用产品	Etch, PVD,PECVD, MCVD, HDPCVD, PEALD