CVS100 真空开关

CVS100 真空开关为真空设备、大气开关和真空压力过程提供准确可靠的保护。应用于半导体加工工具、真空泵、压缩机、鼓风机、医疗设备和机床等。

优势

应用简便

体积小，安装简便。

可测量耐腐蚀性气体

使用合金材料膜片，耐腐蚀。

稳定性好

使用双电容测量技术，极大减小温度、大气压对产品的影响，重复性好。

创新点

压力实时测量，触点可设置

在量程范围内，触点可设置，压力值会实时以触点跳变的方式输出。

应用领域

半导体-集成电路

特种工业-石油化工

生命科学-医疗健康

科学研究-实验器材

技术指标

型号 CVS100

技术指标

CVS电容薄膜真空开关技术指标

测量范围

绝压：10~1000Torr

最大允许压力

45Psi

综合精度

±0.5%F.S.

电源电压

DC24V±10%

电源电流

Max 50mA，通常20mA以下

输出信号

继电器输出(1NO，1NC)

设定输出

2触点/迟滞可设置

工作温度

0～50℃

材料

铝、镍铬铁合金、不锈钢

密封方式

焊接

气密性

<1 x 10-11 atm.cc/s

接口

4VCR male、4VCR female、NW16-KF（可定制）

认证

通过CE认证

产品使用手册真空开关CVS100

2024-11-28

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