PT100 压力变送器

PT100 压力变送器利用压阻式压力传感器，来检测介质的压力变化，并将压力转换为电信号输出；可测量气路盘、工艺腔和传输腔等位置的压力变化；广泛应用于集成电路、先进封装、半导体照明、功率半导体、化合物半导体等领域。

优势

多量程可选

配有15psig/100psig/150psig/250psig等量程。

可见性高的四位数码管显示能力

显示功能能够迅速、直观地显示现场压力的波动情况,减少了信号传输带来的干扰和误差。

创新点

采用32位MCU进行设计

提供更高的运算精度和更强的处理能力。

数字电路控制

具有高可靠性、高精度、强抗干扰能力。

两路压力报警信号输出

通过设定压力报警点、报警方向、报警滞回值，实现检测压力报警。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体照明

功率半导体

化合物半导体

技术指标

型号 PT100
量程 -14.7～15psi/-14.7～100psi/0～17.5psi和-0.1～1MPa
精度 ±0.5% F.S.
漏率 <1x10-9atm.cc/sec He
温漂系数 0.1 %F.S./℃
运行温度范围 0 ～ 80℃
耐压极限 额定压力的2倍
爆破压力 额定压力的5倍
工艺侧材料 316L SEMI F20/镍基合金
供电电压 24V±10%VDC
输出 0~10V/4-20mA
湿节点输出规格 2路PNP或NPN(24V/高阻)
电气接口 Molex1625-6P1/散线
机械接口 1.125“C-seal/1.125“W-seal/4VCR/KF16
使用寿命 >1×106 cycles
C E 认 证 设计满足EN61326-1

PT100系列显示集成压力变送器使用手册

2025-01-02

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