VS100 真空压力开关-北京华丞电子有限公司

VS100 真空压力开关

VS100 真空压力开关利用压阻式压力传感器，来检测介质的压力变化，与预设的压力动作点进行比较，将压力转换为开关量信号。应用于集成电路、先进封装、半导体照明、功率半导体、化合物半导体领域。

优势

多种量程可选

绝压750Torr、绝压1000Torr、表压-750~750Torr。

满足不同接口

1.125“C-seal/1.125"W-seal/4VCR/KF25(NW25)/KF16 等。

创新点

动作压力点可设定有效减少物料种类和客户库存品类

压力动作点设定包含75～735Torr、20～990Torr等。

精度高

可替代传统机械式真空开关。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体照明

功率半导体

化合物半导体

技术指标

型号	VS100
量程及压力动作点设定	量程	压力动作点设定
	绝压750Torr	75～735Torr
	绝压1000Torr	20～990Torr
	表压-750～750Torr	-150～110Torr
	注：压力动作点设定值一般为1%FS～99%FS
默认设置	通用型号默认为：上限报警，动作点100%FS, 迟滞2%FS。设定时，需使用供应商提供的专用软件及线缆。定制型号的设备报警方向、动作点、迟滞，已根据要求，在厂内完成相关设定。
精度	±0.5%FS
漏率	<1x10^-9atm.cc/sec He
温漂系数	0.1% FS/℃
运行温度范围	0～80℃
耐压极限	额定压力的2倍
爆破压力	额定压力的5倍
工艺侧材料	316L Ss SEMI F20/Hastelloy C-276
供电电压	24V±10%VDC
输出	无源触点继电器输出(1NO,1NC) 不上电时，NO为打开，NC为关闭
电气接口	散线/DB9 male
动作点设置方式	出厂前设定/客户端设定
接口类型	1.125“C-seal/1.125”W-seal/4VCR/KF25(NW25)/KF16

VS100系列真空压力开关使用手册

2025-01-02