VG200 电容薄膜真空规-北京华丞电子有限公司

VG200 电容薄膜真空规

VG200 电容薄膜真空规具有测量精度高、重复性好等优点。被广泛应用在半导体、光伏、真空、航空航天等高端装备制造领域，本产品以超薄膜片为感压元件，可精确测量工艺腔室或其它真空环境下的气体压力。

优势

可测量耐腐蚀性气体

使用合金材料膜片，耐腐蚀。

重复性好

使用双电容测量技术，极大减小温度、大气压对真空计的影响，零点稳定、重复性非常好。

测量精度高

产品精度可达0.12% of F.S，同时有0.15% of F.S，0.25% of F.S，0.5% of F.S可供选择。

创新点

高温设计

多种加热温度可选，常温到200℃多加热温度可选。

定制化解决方案

多种机械接头可选，如KF16、KF25、8VCR。

快响应

响应时间<40ms。

应用领域

半导体-集成电路

清洁能源-光伏

特种工业-真空镀膜

生命科学-分析仪器

科学研究-实验器材

技术指标

性能参数

精度	VG202（不加热）	0.15% of reading 0.25% of reading 0.5% of reading
	VG204（45℃）	≥1Torr 0.15% of reading < 1Torr 0.25% of reading
	VG210（100℃）	≥1Torr 0.15% of reading < 1Torr 0.25% of reading
	VG215（150℃）	0.5% of reading
	VG216（160℃）	0.5% of reading
	VG220（200℃）	0.5% of reading
量程	0.1 Torr ~1000 Torr
分辨率	0.001%（1X10^-5）of FS
温度漂移系数（Zero）	≥1Torr 0.002% FS/℃ < 1Torr 0.005% FS/℃
温度漂移系数（Span）	0.02% Reading/℃
响应时间	＞1Torr 20msec ≤1Torr 40msec
加热温度	不加热、45℃、100℃、150℃、160℃、200℃
预热时间（25℃环境温度条件下）	4小时
耐压极限	＞1Torr 45psia（310kpa） ≤1Torr 30psia（206kpa）

电气参数

VG电容薄膜真空规使用手册20240926

2024-11-28