PS100 电容薄膜真空规-北京华丞电子有限公司

PS100 电容薄膜真空规

PS100 电容薄膜真空规具有测量精度高、重复性好等优点，被广泛应用在半导体、光伏、真空、航空航天等高端装备制造领域，本产品以超薄膜片为感压元件，可精确测量工艺腔室或其它真空环境下的气体压力。

优势

可测量耐腐蚀性气体

使用合金材料膜片，耐腐蚀。

测量精度高

产品精度可达0.5% of F.S.。

重复性好

使用双电容测量技术，极大减小温度、大气压对真空计的影响，重复性好。

创新点

压力实时测量

响应时间快，气体压力会实时以模拟量数据输出。

加热功能

可加热功能并维持恒定温度，误差在±0.5℃，减小环境温度对产品稳定性的影响。

设定压力/温度指示

可设定报警值，低于设定点报警或高于设定点报警，压力或温度二选一。

应用领域

半导体-集成电路

清洁能源-光伏

技术指标

型号	PS100
指标	单位	规格参数
量程Full Scale Ranges	Torr	0.1 ~1000等（可定制）
精度Accuracy	% of reading	±0.15% ~ ±1%
分辨率 Resolution	% of F.S.	0.00%
零点温漂系数Zero Temperature Coefficient	% of F.S./℃	0.02%(0.03% for <10Torr)
温漂系数Span Temperature Coefficient	%of reading/℃	0.04%
运行温度范围Ambient Operating Temperature	℃	15 ~ 40℃
加热温度 Sensor Heated Temperature	℃	不加热、45℃~200℃
预热时间 Warm-up Time	h	4
耐压极限 Overpressure Limit	Psia	45（量程 >1Torr) 30 (其它）
工艺侧材料Materials Exposed to Process Gases （excluding optional fittings）	/	镍基合金等
供电电压Input Power Required	VDC	±15V±10% DC 24V±10% DC
输出电压Output Signal	VDC	0 ~ 10V
Trip Relay规格Trip Relay Specifications	/	2个
电气接口Electrical Connectors	/	D型15针阳接头、DeviceNet接头、EtherCAT接头
腔体检测接口Connection Fittings	/	VCR1/2〞母接头、VCR1/4〞母接头、NW16-KF、NW25-KF 等
安装方式 Install type	/	竖放,水平

PS100电容薄膜真空规使用手册20240725

2024-11-28