BV300 蝶阀-北京华丞电子有限公司

BV300 蝶阀

BV300 蝶阀广泛应用于半导体、平板显示、晶体硅太阳能和工业制程中，用于控制腔室的下游压力，可定制化解决苛刻工艺条件下快速控压需求。

优势

位置精准度高

配备5000线光电编码器，位置分辨率高达12800(90°)。

满足先进工艺应用需求

支持工艺数据记忆，满足设备间传递，工艺稳定性良好。

控压稳定性好

压力控制精度可达 0.1% S.P.，稳定工作时蝶阀开度波动性小于1% S.P.

定制化解决方案

支持阀体材质、蝶板间隙定制，支持多种标准机械接口定制，SPS功能、PFO功能扩展。

创新点

双路自匹配压力传感技术

支持两路真空规信号采集，兼容±15V或+24V真空规供电，可根据工艺需求自动切换量程。

L-V-P压力控制技术

压控单元通过记录工艺环境下压力与阀门开度关系，采用位置、速度和压力三环相结合同时进行压位比、位压比、目标压力位置、到达目标压力估算时长动态计算，从而主动干预阀口开度变化量，实现快速、稳定控压。

自学习功能技术

支持自学习功能，可自适应不同腔室真空系统及不同工况，实现快速、准确的压力控制。

先进伺服驱动技术

采用定制伺服控制片载系统，通过多点斜坡控制算法，实现蝶板更快定位，开关响应时间可达0.2s。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体显示

半导体照明

半导体-微机电系统

功率半导体

化合物半导体

技术指标

型号	BV300
法兰端接口形式及大小	ISO-KF:DN40、DN50; ISO-F: DN63、DN80、DN100、DN160、DN200
漏率	1 ×10E^-9mbar l/s
压力范围(20℃时)	1×10E^-8mbar-1.2bar (abs)
压力控制精度	5 mV or 0.1%of setpoint, 两者取最高
传感器输入信号	0-10VDC
材质	阀体/阀板：316L/铝；密封圈：氟橡胶/全氟
位置分辨率	12800(90°角)
响应时间	非密封款：开关0.2S;密封款：开关0.6S
通信接口	D-Sub, DB-25 Female, RS422/RS485, RS232, DeviceNet,EtherCAT
供电接口	D-Sub, DA-15 male, +24 VDC(±10%)@0.5 V pk-pk max
真空规接口(传感器接口)	D-Sub, DA-15 female
运行环境温度	0 ℃ to +50 ℃ max. (推荐<35 ℃)
安装位置	水平和竖直安装

注意：

蝶阀出厂通常用电压对传感器信号进行标定

气体压力的单位规定为：Torr(托)；mbar(毫巴)

标准状态规定为：温度--273.15K（0℃ )；气压--101325 Pa（760mm Hg）

F.S.(Full Scale)：满量程值； S.P.(Set Point)：设定点值

BV300蝶阀中文使用手册V1.0

2024-11-28