RPS电源（BRT系列）产品

RPS电源是一款小型射频电源，专用于半导体领域，在氧化物、氮化物清洗工艺中有着广泛的应用。RPS电源为模拟系统控制，可通过自调频系统进行功率输出调节，输出功率以电流反馈的形式进行采集。电源自带功率输出对插接口，可稳定输出48KHz-92KHz的高压正弦波，并维持等离子体的稳定性。

优势

高精度

具备高精度电流输出能力。

高电压

具备极高的起辉电压能力，具备高电压稳定输出能力。

创新点

具备电流控制功能

快速且稳定的电流闭环控制系统。

具备输出电流监控功能

通过高精度霍尔传感器及RMS检测系统实时监控输出电流。

具备互锁功能

可靠的一体化互锁系统。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体显示

半导体照明

半导体-微机电系统

功率半导体

化合物半导体

技术指标

型号

BRT0150L

BRT0150LC

电源输入

220V±10%，50/60Hz

输出类型

正弦波

输出频率

48KHz-92KHz

输入输出隔离

>500M

输出功率精度

2W或2%

输出电流

300mA max

互锁调节

不可调

可调

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