2MHz 脉冲射频电源-华丞电子

2MHz 脉冲射频电源

2MHz BGP系列射频电源，为脉冲射频电源，工作频率范围在1.765 MHz～2.165 MHz 具备选频功能，50Ω负载下，满足输出2500W、5000W额定功率，功率精度≤±1%，由供电部分、射频部分和控制部分组成，散热方式为水冷和风冷。

优势

控制接口丰富、使用方便

用户可通过显示触摸屏、模拟接口、RS232/RS485接口、DeviceNet、EtherCat、EtherNet等多种控制通讯接口对射频电源进行灵活便捷的操作。

控制模式多样灵活

具备前向功率模式、负载功率模式、AP模式、BVC模式（BGP）等多种控制模式，满足不懂工艺控制需求。

具有较强的稳定性、一致性、可靠性

射频电源谐波<-45dB，功率精度1%，功率重复性0.5%，具有较强的稳定性、一致性、可靠性。

具有完善的自我诊断和保护功能

一致性，谐波、杂散小。

全数字控制平台

采用FPGA+ARM的双核控制，数字高速采集、数字控制，实现射频电源的高速、高精度实时控制。

创新点

丰富灵活的波形控制功能

具有连续波、单脉冲、双脉冲、多脉冲等波形控制功能，具有多台射频电源间的脉冲同步异步功能。

AFT、DFT扫频技术

具有自动AFT扫频技术、DFT动态扫频技术、DFT扫频参数自学习技术，适应复杂负载情况下的快速高精度扫频。

脉冲扫频技术

具有脉冲独立扫频技术，实现脉冲控制与扫频控制的配合使用，满足先进工艺多个脉冲的独立扫频功能。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体显示

半导体-微机电系统

功率半导体

化合物半导体

技术指标

产品型号	BGP2502	BGP5002
工作频率	(1.8-2.17MHz)± 0.005%
频率模式	固定频率、选频、扫频(AFT、DFT)
脉冲模式	主/从
调节模式	FWD、LOAD、AP
输出功率	2500W	5000W
输出功率精度	≤±1%或2.5W	≤±1%或5W
输出阻抗	50Ω	50Ω
供电电压	3相208V±10% 50/60Hz
输出接口	HN Female	7_16(Female)
响应时间	射频响应时间≤100ms
工作模式	CW/Pulse/Dual Level/Multi Level（10Hz-20kHz、1%~99%）
脉冲同步	有
通信接口	Analog port、RS232/485、DeviceNet、EtherCat、EtherNet
谐波抑制	≤－45dBc	≤－45dBc
冷却方式	水冷+风冷	水冷+风冷
RAMP功能	有