双频匹配器-北京华丞电子有限公司

双频匹配器

射频匹配器是一种用于使负载阻抗与射频电源的阻抗匹配，减少反射功率，使传输功率达到最大的设备。不同的匹配器，被设计成适用于单个频率或多个频率段，以满足不同的应用场景。

优势

丰富的频率和功率组合

可以应用于400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz和60MHz多种频率组合和功率组合下，特别是在等离子体增强型化学气相沉积PECVD和电容耦合等离子体CCP刻蚀下应用广泛。

双频网络的高隔离度

可实现两个频率之间的高隔离度，减小频率间互相干扰和对前端射频电源的反射功率。

可定制化的接口形式和外观尺寸

定制化输出接口形式可以适配客户机台的各种需求，可以为标准的RF接头，也可以为定制的Band接头；并且接受客户根据腔室安装和体积限制的外观尺寸要求。

创新点

双频同步控制匹配算法

改进传统的单频匹配算法，同时处理两种频率的射频信号并高速处理，再经过控制算法实现两个频率信号的同步调节，保障高端工艺的快速响应和自动匹配调节。

宽频射频传感器

可实现400kHz-60MHz宽频带的射频信号准确测量，为匹配控制算法提供准确数据支撑，为工艺提供实时监控数据分析。

高可靠性接口技术

可同时满足高功率和低功率范围的工艺应用。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-先进封装

半导体显示

半导体照明

半导体-微机电系统

功率半导体

化合物半导体

技术指标